[发明专利]光学面形的检测装置及光学面形的检测方法

摘要

本发明是光学面形的检测装置及光学面形的检测方法，装置激光器发射光经半透半反镜、准直光学单元产生照明光，第一和第二夹持架上的待测面产生干涉光并经光路返回后半透半反镜再由会聚光学单元收集到CCD探测器；移相器用来产生移相；角度测量单元，用来测量第一和第二夹持架上待测面的角度差。方法把第一、第二待测平面分别放在第二、第一夹持架，干涉测量第一和第二待测平面之间的光程差；第一待测平面相对于初始位置旋转一些特定角度并测量第一和第二待测平面之间的光程差，第一待测平面旋转180度再将第三待测平面放在第一夹持架，测量第一和第三待测平面之间的光程差，用第二待测平面放在第二夹持架测量第二和三待测平面之间的光程差。

主权项

一种光学面形的检测装置，其特征在于，包括：一个激光器，用于发出激光作为照明光源；一个半透半反镜，用于将激光器发出的激光透射以后作为照明光，将干涉以后的测试光反射；一个准直光学单元，用于将激光器发射的激光形成均匀的照明区域；两个夹持架，将第一待测平面镜和第二待测平面镜分别固定在上面；一个移相器，由计算机控制，用于产生移相；一个角度测量单元，用于测量两个夹持架上的第一待测平面镜和第二待测平面镜之间的角度误差；所述第一待测平面镜具有第一待测平面，所述第二待测平面镜具有第二待测平面；一个平面成像单元，用于生成与第一待测平面的x轴方向和第二待测平面的x轴方向一致的干涉测试光；一个会聚光学单元，用于将干涉后的测试光投射到CCD探测器上。