[实用新型]一种玻璃钝化晶片玻璃胶涂覆装置有效

专利信息
申请号: 201721515385.0 申请日: 2017-11-14
公开(公告)号: CN207338305U 公开(公告)日: 2018-05-08
发明(设计)人: 徐明星;吴兴旺;夏冬生;史国顺 申请(专利权)人: 山东芯诺电子科技股份有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/67
代理公司: 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 代理人: 周仕芳;卢登涛
地址: 272100 山东省济*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 玻璃 钝化 晶片 玻璃胶 装置
【权利要求书】:

1.一种玻璃钝化晶片玻璃胶涂覆装置,其特征在于,包括特制电机(3)、特制吸盘(4)、硅胶勺,特制电机(3)连接有中空电机转轴(6),所述中空电机转轴(6)连接有真空系统,中空电机转轴(6)连接特制吸盘(4),特制吸盘(4)上固定有晶片(5),硅胶勺悬置于晶片上方;

所述特制吸盘(4)内部有真空凹槽,中心开孔为真空孔,与中空电机转轴(6)相通形成真空管路;

所述晶片(5)放到特制吸盘(4)表面,接通真空系统,晶片(5)吸附在特制吸盘(4)表面,打开特制电机(3),晶片(5)伴随特制吸盘(4)与中空电机转轴(6)进行旋转,运行结束后释放真空系统,取下晶片(5)。

2.根据权利要求1所述的一种玻璃钝化晶片玻璃胶涂覆装置,其特征在于,所述特制电机(3)连接有电机转速控制盒(1),电机转速控制盒(1)上设有电机旋转开关(2);

电机转速控制盒(1)设置多段转速,实现低转速到高转速转换。

3.根据权利要求1所述的一种玻璃钝化晶片玻璃胶涂覆装置,其特征在于,所述真空系统连接有电磁阀(7),电磁阀(7)连接有真空控制开关(8)。

4.根据权利要求1所述的一种玻璃钝化晶片玻璃胶涂覆装置,其特征在于,所述特制吸盘(4)为铁氟龙材质,表面加工有凹槽,并连通至特制吸盘(4)中心位置的真空孔处,即晶片(5)放置于特制吸盘(4)表面,通过真空控制开关(8)开启,晶片(5)被牢固吸附在特制吸盘(4)表面,并随着特制吸盘(4)进行旋转运动。

5.根据权利要求1所述的一种玻璃钝化晶片玻璃胶涂覆装置,其特征在于,所述硅胶勺为聚四氟乙烯材质,具有耐酸碱腐蚀耐高温特性,且对玻璃胶无污染。

6.根据权利要求1所述的一种玻璃钝化晶片玻璃胶涂覆装置,其特征在于,所述硅胶勺容纳玻璃胶的容量为2-4g。

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