[实用新型]晶圆片承载盒

说明书

本实用新型揭示了一种晶圆片承载盒，包括盒体、密封门和支撑架装置，盒体具有一开口，用于放置晶圆片的支撑架装置可通过该开口放置在盒体内部，并通过开口和密封门配合连接，使支撑架装置封闭在盒体内部。由于支撑架装置和盒体为分体结构，因此，对应不同尺寸的晶圆片，可选用与其对应尺寸的支撑架装置，有效避免了一个晶圆片承载盒只能放置一种尺寸的晶圆片的现象，并提升使用的灵活性和使用效率。

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆片承载盒。

背景技术

在半导体行业和太阳能行业，需要一种密封的，能装载一定数量和尺寸大小的承载盒对晶圆片承载周转使用，一般的承载盒都是按行业的标准尺寸做成通用的款式，包括盒体和密封门，该盒体的内部具有与晶圆片配合的狭槽，晶圆片通过与狭槽配合，插入到盒体内部，由于狭槽与盒体为一体化成型，因此，每个盒体只能放置一种尺寸的晶圆片，而又无法更改，当有小尺寸或非标准的晶圆片需要承载时，现有的承载盒就不合适了，就需要制作合适的承载架附加在标准的承载盒里，以满足生产的使用需要。

实用新型内容

本实用新型提供了一种晶圆片承载盒，克服了现有技术的困难，开创了一种可承载多规格或品种晶圆片的承载盒。

本实用新型提供了一种晶圆片承载盒，包括：

盒体，所述盒体具有一开口；

密封门，所述密封门与所述开口配合连接；

支撑架装置，所述支撑架装置通过所述开口可放置在所述盒体内部；

其中，所述支撑架装置包括一个框架和至少两个相对设置的承载板，所述承载板固定在框架上，且相对设置的两个所述承载板的相对面上设置有与晶圆片配合的狭槽。

进一步，所述框架包括第一安装固定板、第二安装固定板和支撑板，所述支撑板的两端分别连接所述第一安装固定板和所述第二安装固定板，其中，所述承载板的两端分别连接所述第一安装固定板和所述第二安装固定板。

进一步，所述承载板还有所述支撑板连接。

进一步，所述第一安装固定板和所述第二安装固定板的形状分别与所述盒体的横截面形状相适配。

进一步，所述第一安装固定板和所述第二安装固定板分别具有挖孔槽。

进一步，所述支撑架装置还包括支撑柱，所述支撑柱与第二安装固定板连接。

进一步，所述承载板的数量为四个。

进一步，还包括限位压紧装置，所述限位压紧装置与所述盒体连接，用于压紧晶圆片。

进一步，所述限位压紧装置包括顶住安装板、弹簧固定筒、弹簧和压紧柱，所述顶住安装板上设置有多个套孔，所述套孔沿着所述顶住安装板的长度方向排列设置，每个所述套孔内分别套设有一个所述弹簧固定筒，所述弹簧固定筒具有一开口端，所述弹簧和所述压紧柱依次从所述弹簧固定筒的开口端塞入，所述压紧柱在所述弹簧的作用下压紧晶圆片。

进一步，所述弹簧固定筒的开口端直径小于所述弹簧固定筒内部的直径，所述压紧柱与所述弹簧固定筒的配合端直径大于所述压紧柱与晶圆片的配合端直径，并且，所述压紧柱与所述弹簧固定筒的配合端位于所述弹簧固定筒内部。

由于采用了上述技术，本实用新型具有以下优点：

本实用新型的盒体和承载晶圆片的支撑架装置为分体结构，因此，可根据晶圆片的尺寸，选用相应的支撑架装置，该承载盒可实现不同规格或品格晶圆片的放置。

以下结合附图及实施例进一步说明本实用新型。

附图说明

图1为本实用新型所述晶圆片承载盒的爆炸图；