[实用新型]晶圆片承载盒

权利要求书

1.一种晶圆片承载盒，其特征在于，包括：

盒体，所述盒体具有一开口；

密封门，所述密封门与所述开口配合连接；

支撑架装置，所述支撑架装置通过所述开口可放置在所述盒体内部；

其中，所述支撑架装置包括一个框架和至少两个相对设置的承载板，所述承载板固定在框架上，且相对设置的两个所述承载板的相对面上设置有与晶圆片配合的狭槽。

2.如权利要求1所述的晶圆片承载盒，其特征在于，所述框架包括第一安装固定板、第二安装固定板和支撑板，所述支撑板的两端分别连接所述第一安装固定板和所述第二安装固定板，其中，所述承载板的两端分别连接所述第一安装固定板和所述第二安装固定板。

3.如权利要求2所述的晶圆片承载盒，其特征在于，所述承载板还有所述支撑板连接。

4.如权利要求2所述的晶圆片承载盒，其特征在于，所述第一安装固定板和所述第二安装固定板的形状分别与所述盒体的横截面形状相适配。

5.如权利要求2所述的晶圆片承载盒，其特征在于，所述第一安装固定板和所述第二安装固定板分别具有挖孔槽。

6.如权利要求2所述的晶圆片承载盒，其特征在于，所述支撑架装置还包括支撑柱，所述支撑柱与第二安装固定板连接。

7.如权利要求1所述的晶圆片承载盒，其特征在于，所述承载板的数量为四个。

8.如权利要求1所述的晶圆片承载盒，其特征在于，还包括限位压紧装置，所述限位压紧装置与所述盒体连接，用于压紧晶圆片。

9.如权利要求8所述的晶圆片承载盒，其特征在于，所述限位压紧装置包括顶住安装板、弹簧固定筒、弹簧和压紧柱，所述顶住安装板上设置有多个套孔，所述套孔沿着所述顶住安装板的长度方向排列设置，每个所述套孔内分别套设有一个所述弹簧固定筒，所述弹簧固定筒具有一开口端，所述弹簧和所述压紧柱依次从所述弹簧固定筒的开口端塞入，所述压紧柱在所述弹簧的作用下压紧晶圆片。

10.如权利要求9所述的晶圆片承载盒，其特征在于，所述弹簧固定筒的开口端直径小于所述弹簧固定筒内部的直径，所述压紧柱与所述弹簧固定筒的配合端直径大于所述压紧柱与晶圆片的配合端直径，并且，所述压紧柱与所述弹簧固定筒的配合端位于所述弹簧固定筒内部。