[实用新型]一种压力传感器

说明书

本实用新型涉及一种压力传感器，包括衬底，所述衬底上设置有四个内腔，还包括设置在衬底上的敏感膜，所述敏感膜覆盖所述四个内腔；在所述敏感膜上对应每个内腔的位置分别设置有一组压敏电阻，每组压敏电阻包括至少两个串联在一起的压敏电阻；所述敏感膜上对应四个内腔区域的四组压敏电阻各作为惠斯通电桥的一个臂，共同构成了信号输出的惠斯通电桥。本实用新型的压力传感器，通过在衬底上设置多腔，以及与多腔对应的多个压敏电阻，使得在一定的体积内，可以布置更多的压敏电阻，从而有效提高压阻式气压传感器的灵敏度和分辨率。

技术领域

本实用新型涉及测量领域，更具体地，涉及一种传感器，尤其涉及一种压力传感器。

背景技术

现行的技术方案中，压力传感器主要有电容式和压阻式两种，其中，压阻式压力传感器是通过离子注入的方法，在压力敏感膜上制作压敏电阻条，形成惠斯通电桥，压力敏感膜是平整的。当外界的压力变化时，会使压力敏感膜发生向上或向下的形变，导致压敏电阻条的阻值发生变化，从而通过惠斯通电桥检测到外界压力的变化。

但是这种结构的压力传感器，普遍存在灵敏度低、分辨率小的缺点。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是提供了一种压力传感器。

根据本实用新型的一个方面，提供一种压力传感器，包括衬底，所述衬底上设置有四个内腔，还包括设置在衬底上的敏感膜，所述敏感膜覆盖所述四个内腔；在所述敏感膜上对应每个内腔的位置分别设置有一组压敏电阻，每组压敏电阻包括至少两个串联在一起的压敏电阻；所述敏感膜上对应四个内腔区域的四组压敏电阻各作为惠斯通电桥的一个臂，共同构成了信号输出的惠斯通电桥。

可选地，所述每个压敏电阻的基本阻值是相同的。

可选地，所述衬底上的敏感膜是一张整体膜。

可选地，所述敏感膜的数量与内腔的数量相对应，每张敏感膜对应一个内腔。

可选地，每组压敏电阻中的多个串联在一起的压敏电阻均匀分布在对应内腔的上方。

可选地，每组压敏电阻设置有四个串联在一起的压敏电阻，该四个压敏电阻围成矩形或者圆形。

可选地，每个压敏电阻包括重掺杂区和轻掺杂区；所述每个压敏电阻的重掺杂区通过导电部引出。

可选地，所述内腔设置有N个，N为4的整数倍，且不等于4；其中，每N/4个内腔上方对应的压敏电阻串联在一起共同作为惠斯通电桥的一个臂，四个臂共同构成了信号输出的惠斯通电桥。

本实用新型的压力传感器，通过在衬底上设置多腔，以及与多腔对应的多个压敏电阻，使得在一定的体积内，可以布置更多的压敏电阻，从而有效提高压阻式气压传感器的灵敏度和分辨率。

通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述，本实用新型的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

构成说明书的一部分的附图描述了本实用新型的实施例，并且连同说明书一起用于解释本实用新型的原理。

图1是本实用新型压力传感器上形成的压敏电阻的示意图。

图2是本实用新型压力传感器其中一个内腔位置的剖面图。

图3是图1中压力传感器信号输出的电路原理示意图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。