[实用新型]一种用于晶圆钢圈吸附的机械臂

权利要求书

1.一种用于晶圆钢圈吸附的机械臂，其特征在于，包括：

主轴支架(1)，与机械臂主体连接；

一对第一分支架(2)，分别固定在所述主轴支架(1)的两端，且所述第一分支架(2)具有至少两个用于吸取晶圆钢圈(4)不同部位的第一吸附部(21)；

第二分支架(3)，设置在一对所述第一分支架(2)中间，且与所述主轴支架(1)固定，所述第二分支架(3)具有至少一个用于吸取所述晶圆钢圈(4)不同部位的第二吸附部(31)。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆钢圈吸附的机械臂，其特征在于，所述第二分支架(3)设置在所述主轴支架(1)远离所述机械臂主体的一侧。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆钢圈吸附的机械臂，其特征在于，一对所述第一分支架(2)和所述第二分支架(3)相互平行设置，且均垂直于所述主轴支架(1)固定，所述第二分支架(3)固定在所述主轴支架(1)的中点上。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆钢圈吸附的机械臂，其特征在于，所述第二分支架(3)具有至少一个用于固定所述第二吸附部(31)的开口(34)，所述开口(34)的外侧还相向设置有一对对所述第二吸附部(31)进行限位的限位槽(341)。

5.根据权利要求4所述的用于晶圆钢圈吸附的机械臂，其特征在于，所述开口(34)为U形口，且为两个，分设在所述第二分支架(3)远离所述主轴支架(1)的一端，两个所述开口(34)与所述主轴支架(1)的中心之间的距离不同。

6.根据权利要求4所述的用于晶圆钢圈吸附的机械臂，其特征在于，所述开口(34)上还设置有一用于将所述第二吸附部(31)与所述开口(34)固定的固定帽(35)。

7.根据权利要求6所述的用于晶圆钢圈吸附的机械臂，其特征在于，所述固定帽(35)的中央成型有一安装空间(351)，所述第二分支架(3)的开口(34)插入所述安装空间(351)中固定，所述安装空间(351)的顶部与所述开口(34)相接触的位置还成型有一U形槽(353)，且所述固定帽(35)上与所述开口(34)相对应的位置还成型有允许所述第二吸附部(31)穿过的贯通孔(352)。

8.根据权利要求1所述的用于晶圆钢圈吸附的机械臂，其特征在于，所述第一吸附部(21)和第二吸附部(31)均包括一真空杆(211)和安装在所述真空杆(211)下部的真空吸嘴(212)，所述真空杆(211)和所述真空吸嘴(212)贯通设置。

9.根据权利要求8所述的用于晶圆钢圈吸附的机械臂，其特征在于，所述主轴支架(1)中还安装有用于检测所述真空吸嘴(212)吸取所述晶圆钢圈(4)的真空值的真空传感器(5)，所述真空传感器(5)与设置在外部的设备控制器信号连接。

10.根据权利要求9所述的用于晶圆钢圈吸附的机械臂，其特征在于，还包括一设备报警器，所述设备报警器与所述设备控制器信号连接。