[实用新型]一种晶圆烘烤系统

权利要求书

1.一种晶圆烘烤系统，其特征在于，包括：

机台，

加热装置，

若干热板，设置在所述机台上，所述加热装置为所述热板加热，

若干温度传感器，布设在每个所述热板上测温，每个热板上至少设置一个温度传感器；

减法器，获取所述温度传感器测得的每两个热板的温度差；以及，

控制装置，根据所述减法器获得的温度差，调节所述加热装置为所述热板加热，以使所述热板之间的温度差不超过第一设定值。

2.根据权利要求1所述的晶圆烘烤系统，其特征在于：进一步包括报警器，所述报警器与所述减法器通讯连接；

当所述减法器获得的温度差大于第二设定值时，所述报警器报警。

3.根据权利要求1所述的晶圆烘烤系统，其特征在于：进一步包括报警器，所述报警器与所述温度传感器通讯连接；

当所述温度传感器测得所述热板的温度超过预设温度范围时，所述报警器报警。

4.根据权利要求2或3所述的晶圆烘烤系统，其特征在于，所述报警器包括：

发声器；

和/或；

警报灯。

5.根据权利要求4所述的晶圆烘烤系统，其特征在于：进一步包括显示面板；所述显示面板与所述温度传感器通讯连接，以实时显示其测量值。

6.根据权利要求4所述的晶圆烘烤系统，其特征在于：进一步包括显示面板；所述显示面板与所述减法器通讯连接，以实时显示其测得的温度差。