[实用新型]用于调整传感器位置的治具

权利要求书

1.一种用于调整传感器位置的治具，其特征在于，包括：

底座；

支架，垂直固定于所述底座上；

滑动部件，固定于所述支架上，能够沿支架在垂直于底座方向上移动；

量尺，安装于所述滑动部件上，能够在平行于底座方向上移动。

2.根据权利要求1所述的用于调整传感器位置的治具，其特征在于，所述支架包括平行设置且垂直于底座的第一子支架和第二子支架。

3.根据权利要求2所述的用于调整传感器位置的治具，其特征在于，所述支架还包括连接所述第一子支架和第二子支架顶端的横梁。

4.根据权利要求2所述的用于调整传感器位置的治具，其特征在于，所述滑动部件包括第一子滑块、第二子滑块，所述第一子滑块固定于所述第一子支架，所述第二子滑块固定于所述第二子支架。

5.根据权利要求4所述的用于调整传感器位置的治具，其特征在于，所述第一子滑块与所述第二子滑块高度一致，通过一水平设置的固定杆连接。

6.根据权利要求1所述的用于调整传感器位置的治具，其特征在于，所述支架包括支撑架以及固定于所述支撑架表面且垂直于所述底座的滑轨，所述滑动部件通过与所述滑轨活动连接，使得所述滑动部件能够沿所述滑轨移动。

7.根据权利要求1所述的用于调整传感器位置的治具，其特征在于，所述量尺上具有长度刻度。

8.根据权利要求1所述的用于调整传感器位置的治具，其特征在于，所述量尺包括突出部和与所述突出部连接的尺部；所述突出部为片状，且所述突出部的顶端为圆弧形；所述尺部为长条形，安装于所述滑动部件上。

9.根据权利要求1所述的用于调整传感器位置的治具，其特征在于，还包括第一限位块和第二限位块，所述第一限位块固定于支架的顶部，所述第二限位块固定于支架的底部，用于限定滑动部件沿支架移动的位置。

10.根据权利要求1所述的用于调整传感器位置的治具，其特征在于，所述传感器用于检测晶圆传送盒内的晶圆突出，所述底座与晶圆传送盒的底部形状尺寸一致。