[实用新型]一种硅太阳能电池湿法刻蚀系统

权利要求书

1.一种硅太阳能电池湿法刻蚀系统，包括依次设置的刻蚀槽（1）、水洗I槽（2）、碱洗槽（3）、水洗II槽（16）、酸洗槽（17）、水洗III槽（18）和烘干槽（19），且上述各槽内部均设有传动辊轮（4），其特征在于：所述水洗I槽（2）和水洗II槽（16）内的喷淋装置均包括外围喷淋装置和内循环喷淋装置，其中外围喷淋装置通过第一喷淋进水管（8）直接与外围供水总管（7）相连，内循环喷淋装置通过第二喷淋进水管（14）与储水箱（12）相连，且该储水箱（12）与水洗槽本体之间通过回水管（15）相连；所述水洗I槽（2）和水洗II槽（16）内靠近出料端的传动辊轮（4）上方均并排设有至少两组赶液辊轮（6）。

2.根据权利要求1所述的一种硅太阳能电池湿法刻蚀系统，其特征在于：所述储水箱（12）通过内循环进水管（11）与外围供水总管（7）相连，该储水箱（12）的底部设有排水口，排水口与排水管（13）相连。

3.根据权利要求2所述的一种硅太阳能电池湿法刻蚀系统，其特征在于：所述储水箱（12）内设有液位计及pH计。

4.根据权利要求3所述的一种硅太阳能电池湿法刻蚀系统，其特征在于：所述第一喷淋进水管（8）、内循环进水管（11）及排水管（13）上均设有流量调节阀（10）。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种硅太阳能电池湿法刻蚀系统，其特征在于：所述烘干槽（19）与水洗III槽（18）之间设有挡板（20），且挡板（20）与传动辊轮（4）之间的间距与待传送硅片（5）的厚度相匹配。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的一种硅太阳能电池湿法刻蚀系统，其特征在于：所述烘干槽（19）内传动辊轮（4）的上方和下方均设有多组吹风管（21）。

7.根据权利要求6所述的一种硅太阳能电池湿法刻蚀系统，其特征在于：所述吹风管（21）内设有加热器。

8.根据权利要求5所述的一种硅太阳能电池湿法刻蚀系统，其特征在于：所述的外围喷淋装置和内循环喷淋装置均包括对应设置的上喷淋水刀和下喷淋水刀，且上喷淋水刀与下喷淋水刀对应设置在传送辊轮（4）的上方与下方。

9.根据权利要求8所述的一种硅太阳能电池湿法刻蚀系统，其特征在于：所述的外围喷淋装置位于内循环喷淋装置远离该刻蚀系统进料端的一侧，且内循环喷淋装置包括3-5对依次设置的上喷淋水刀和下喷淋水刀。