[实用新型]一种芯片检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及检测装置领域，特别是一种芯片检测装置。

背景技术

现有的晶圆芯片要检测其好坏时，一般要将晶圆芯片装于产品上，才能发现晶圆芯片的好坏，如果能点亮就合格，如果不能点亮就是不合格。这种检测晶圆的方式，增加了检测的人力和成本。因此，有必要在晶圆芯片生产过程中对其进行检测。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种芯片检测装置，能够对芯片进行自动化检测，可大大节约人力物力。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种芯片检测装置，包括固定座、摆动板、用于检测芯片的探针以及为摆动板提供弹力的弹性件，所述摆动板的一端活动安装在固定座上，所述探针安装在摆动板的另一端，所述弹性件压缩设置在摆动板与固定座之间。

进一步地，所述摆动板通过可形变的弹片安装在固定座上，所述弹片的一端固定在固定座上，所述摆动板固定在弹片上。

进一步地，所述弹性件为弹簧，所述固定座上设置有螺纹孔，所述弹簧一端固定在摆动板上，其另一端穿设在螺纹孔内；所述固定座还包括与螺纹孔配合的调节螺钉，所述调节螺钉抵顶弹簧，将弹簧压缩在摆动板与调节螺钉之间。

进一步地，所述固定座上设有用于托举摆动板的托件，所述托件对摆动板的作用力与弹性件对摆动板的作用力相反。

进一步地，所述托件呈“L”型，所述摆动板的中部开设有供托件穿的缺口。

进一步地，所述检测装置还包括三维调节机构，所述固定座安装在三维调节机构上。

进一步地，所述摆动板包括固定在弹片上的绝缘板和用于固定探针的导电板，所述绝缘板的一端固定在弹片上，所述导电板可拆卸的安装在绝缘板的另一端，所述弹性件的一端固定在绝缘板上。

进一步地，所述探针为弹性探针，所述探针的一端导电固定在导电板上，其另一端向下倾斜并抵靠导电板，所述导电板上安装有限位板，所述限位板压紧探针固定在导电板上的一端，所述探针抵靠导电板的一端与限位板之间相距一定距离。

进一步地，所述绝缘板由绝缘塑料制成。

进一步地，所述导电板上设置有与外部电源连接的电插口。

相对于现有技术，本实用新型提供的一种芯片检测装置，能够对芯片进行自动化检测，可大大节约人力物力。摆动板的一端活动安装在固定座上，探针安装在摆动板的另一端，弹性件压缩设置在摆动板与固定座之间。在检测过程中，摆动板可以摆动并压缩弹性件，具有缓冲作用，能有效避免探针与芯片硬性接触，防止对芯片造成损坏。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型提供的芯片检测装置的立体示意图；

图2是图1的侧视示意图；

图3是图2中的局部分解示意图；

图4是图2的俯视示意图。

具体实施方式

现结合附图，对本实用新型的较佳实施例作详细说明。

如图1至3所示，本实用新型提供一种芯片检测装置，包括固定座10、摆动板20、用于检测芯片的探针30以及为摆动板20提供弹力的弹性件40。摆动板20的一端活动安装在固定座10上，探针30安装在摆动板20的另一端，弹性件40压缩设置在摆动板20与固定座10之间。在检测过程中，摆动板20可以摆动并压缩弹性件40，具有缓冲作用，能有效避免探针30与芯片硬性接触，防止对芯片造成损坏。

检测时，将装有晶圆芯片的晶盘接地，然后通过带有正电的探针30逐个对晶盘上的晶圆芯片进行检测。如果探针30能与晶盘导通，则该晶圆芯片为合格芯片；如果不导通，则为不合格芯片。这样能够对芯片进行自动化检测，可大大节约人力物力。

进一步地，摆动板20通过可形变的弹片50安装在固定座10上，弹片50的一端固定在固定座10上，摆动板20固定在弹片50上。通过弹片50能够进一步增加摆动板20的回复弹力，到达适应高频率摆动的目的，从而增加检测芯片的速度，提高工作效率。当然，摆动板20还可以通过轴销的方式活动安装在固定座10上，这样检测频率会受到一定的限制。