[实用新型]一种芯片检测装置

权利要求书

1.一种芯片检测装置，其特征在于，包括固定座、摆动板、用于检测芯片的探针以及为摆动板提供弹力的弹性件，所述摆动板的一端活动安装在固定座上，所述探针安装在摆动板的另一端，所述弹性件压缩设置在摆动板与固定座之间。

2.根据权利要求1所述的芯片检测装置，其特征在于，所述摆动板通过可形变的弹片安装在固定座上，所述弹片的一端固定在固定座上，所述摆动板固定在弹片上。

3.根据权利要求2所述的芯片检测装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧，所述固定座上设置有螺纹孔，所述弹簧一端固定在摆动板上，其另一端穿设在螺纹孔内；所述固定座还包括与螺纹孔配合的调节螺钉，所述调节螺钉抵顶弹簧，将弹簧压缩在摆动板与调节螺钉之间。

4.根据权利要求3所述的芯片检测装置，其特征在于，所述固定座上设有用于托举摆动板的托件，所述托件对摆动板的作用力与弹性件对摆动板的作用力相反。

5.根据权利要求4所述的芯片检测装置，其特征在于，所述托件呈“L”型，所述摆动板的中部开设有供托件穿的缺口。

6.根据权利要求1所述的芯片检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括三维调节机构，所述固定座安装在三维调节机构上。

7.根据权利要求1至6中任意一项所述的芯片检测装置，其特征在于，所述摆动板包括固定在弹片上的绝缘板和用于固定探针的导电板，所述绝缘板的一端固定在弹片上，所述导电板可拆卸的安装在绝缘板的另一端，所述弹性件的一端固定在绝缘板上。

8.根据权利要求7所述的芯片检测装置，其特征在于，所述探针为弹性探针，所述探针的一端导电固定在导电板上，其另一端向下倾斜并抵靠导电板，所述导电板上安装有限位板，所述限位板压紧探针固定在导电板上的一端，所述探针抵靠导电板的一端与限位板之间相距一定距离。

9.根据权利要求7所述的芯片检测装置，其特征在于，所述绝缘板由绝缘塑料制成。

10.根据权利要求7所述的芯片检测装置，其特征在于，所述导电板上设置有与外部电源连接的电插口。