[实用新型]含有挥发气体废料的真空干燥净化处理设备

权利要求书

1.含有挥发气体废料的真空干燥净化处理设备，其特征在于，包括干燥温度-12℃—200℃的真空干燥箱，与真空干燥箱气体排出端连接有将从真空干燥箱中排出的蒸汽中不凝气体和水分进行分离的冷凝分离器，冷凝分离器的工作温度为-15℃—45℃；以及

与分离器的不凝气体排出端连通，对分离器排出的不凝气体进行抽真空形成600Pa以下真空度且进行压缩的真空压缩装置；以及

对真空压缩装置排出的不凝气体进行两级或两级以上不同温度冷凝的冷凝装置，冷凝装置的气体排出端伸入一储液罐内的液面以下，所述储液罐内排出的气体经过净化器后排入大气。

2.如权利要求1所述的含有挥发气体废料的真空干燥净化处理设备，其特征在于，所述冷凝分离器中冷凝产生的冷凝水从其冷凝水排出端排入储液罐中。

3.如权利要求1或2所述的含有挥发气体废料的真空干燥净化处理设备，其特征在于，所述真空压缩装置包括真空泵、压缩泵，冷凝分离器的不凝气体排出端与真空泵的气体输入端连通，真空泵的气体排出端与压缩泵的进入端连通，压缩泵的出口端与所述冷凝装置连通。

4.如权利要求3所述的含有挥发气体废料的真空干燥净化处理设备，其特征在于，所述冷凝装置包括冷凝温度-10℃—-20℃的一级冷凝器、冷凝温度-30℃—-40℃的二级冷凝器、冷凝温度-60℃—-70℃的三级冷凝器；一级冷凝器的气体进入端与真空压缩装置的气体排出端连通，一级冷凝器的气体排出端与二级冷凝器的气体进入端连通，二级冷凝器的气体排出端与三级冷凝器的气体进入端连通，三级冷凝器的气体排出端伸入储液罐内的液面以下。

5.如权利要求4所述的含有挥发气体废料的真空干燥净化处理设备，其特征在于，所述三级冷凝器的气体排出端还连通有循环管，该循环管与真空泵的气体输入端连通，在循环管上安装有控制其中气体流入真空泵中的控制阀。