[实用新型]一种用于金刚线半导体硅棒截断机的进刀装置有效
申请号: | 201720998946.0 | 申请日: | 2017-08-10 |
公开(公告)号: | CN207224313U | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 曹建伟;傅林坚;徐开涛;谢永旭;卢嘉彬;沈文杰;李林;朱亮 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 金刚 半导体 截断 进刀 装置 | ||
1.一种用于金刚线半导体硅棒截断机的进刀装置,包括门形的龙门支撑架;其特征在于,在龙门支撑架的两侧立柱上分别设置竖向的导轨,进刀单元背板活动安装在两根导轨上,并通过丝杆螺母座与竖向布置的丝杆组件活动连接;丝杆组件的上端穿过龙门支撑架横梁的中心,且通过减速机接至进刀单元伺服电机,后者固定安装在横梁上;
在进刀单元背板上对称布置了两个收放线轮组件、两个扩张导轮组件、两个并线导轮组件和两个端部设有切割导轮组件的摆动导轮臂;金刚石切割线在进刀单元背板上的布置方式为:金刚石切割线的一端缠绕保存左侧收放线轮组件中,然后依次经左侧扩张导轮组件、左侧切割导轮组件、右侧切割导轮组件、右侧并线导轮组件、左侧并线导轮组件、左侧切割导轮组件、右侧切割导轮组件、右侧扩张导轮组件后,另一端缠绕保存右侧收放线轮组件中;在两个切割导轮组件上分别设有两个串接的导轮,使得在两个切割导轮组件之间的金刚石切割线呈平行线布置;两个收放线轮组件分别通过传动机构连接至驱动电机以实现同步转动,使得金刚石切割线能在两个切割导轮组件之间往复运动。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述进刀单元背板的上缘与龙门支撑架的横梁不接触,一个测距传感器通过安装架固定在横梁下方。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述进刀单元背板上还设有冷却水管组件,冷却水管的出口对准两个切割导轮组件之间的金刚石切割线。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述两个摆动导轮臂通过转动销活动安装在进刀单元背板上,并能通过螺钉和安装孔的组合变化调整其安装方向。
5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述丝杆组件是滚珠丝杆组件,并通过键与减速机连接。
6.根据权利要求1至5任意一项中所述的装置,其特征在于,所述龙门支撑架通过螺钉安装在半导体单晶硅棒截断机的底架上。
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