[实用新型]一种刻蚀机去水气装置的升降机构

权利要求书

1.一种刻蚀机去水气装置的升降机构，其特征在于，包括去水气装置本体(1)、双作用气缸(4)和晶元压头(5)；

所述去水气装置本体(1)内部具有竖直设置并可上下移动的滑杆(11)；

所述双作用气缸(4)竖向设置，其缸体(41)通过连接件(3)安装在所述水气装置本体(1)的下端，所述双作用气缸(4)内具有与所述滑杆(11)同轴设置的伸缩臂(42)；

所述伸缩臂(42)的上端通过高度可调的连接组件(2)与所述滑杆(11)的下端连接；

所述晶元压头(5)安装在所述伸缩臂(42)的下端端部，所述晶元压头(5)随所述伸缩臂(42)上下移动。

2.根据权利要求1所述的刻蚀机去水气装置的升降机构，其特征在于，所述连接件(3)包括多根间隔均匀且环状分布于所述水气装置本体(1)的下端的拉杆，每根所述拉杆下端均与所述缸体(41)的上端连接。

3.根据权利要求1所述的刻蚀机去水气装置的升降机构，其特征在于，所述连接组件包括连接头(21)和浮动接头(22)，所述连接头(21)上端与所述滑杆(11)的下端连接，所述连接头(21)的下端与所述浮动接头(22)的上端连接。

4.根据权利要求3所述的刻蚀机去水气装置的升降机构，其特征在于，所述浮动接头(22)上端端部沿轴向设有螺孔，所述连接头(21)为圆柱体形，其下端外周上设有与浮动接头(22)上端螺孔相配合的外螺纹，所述连接头(21)的下端螺纹安装在所述浮动接头(22)上端的螺孔内，所述连接头(21)与所述浮动接头(22)连接处之间还套设有用以调节所述连接头(21)下端与浮动接头(22)上端螺孔连接深度的第一垫圈(23)。

5.根据权利要求4所述的刻蚀机去水气装置的升降机构，其特征在于， 还包括限位抵接组件，所述限位抵接组件设置于所述缸体下端，

所述晶元压头(5)侧壁中部环设有与所述限位抵接组件(6)相配合的环形的限位块(51)；

所述限位抵接组件(6)包括自上向下依次固定在所述缸体(41)下端端部的抵接块(61)和第二垫圈(62)，所述抵接块(61)中部设有供所述伸缩臂(42)的下端穿过的通孔；

所述伸缩臂(42)向上移动时，带动所述晶元压头(5)上升至所述限位块(51)与所述抵接块(61)抵接。

6.根据权利要求4所述的刻蚀机去水气装置的升降机构，其特征在于，还包括限位抵接组件，所述限位抵接组件(6)包括旋钮(63)和螺帽(64)组成，所述旋钮(63)为上端开口的中空圆柱体，其底端同轴设有与所述晶元压头(5)相配合的通孔，所述晶元压头(5)为圆柱形，其外周上设置有外螺纹，所述通孔内壁设有与所述晶元压头(5)外螺纹相配合的内螺纹，所述旋钮(63)螺纹安装在所述晶元压头(5)外周上，所述螺帽(64)螺纹安装在所述晶元压头(5)的下端外周上，并与所述旋钮(63)的下端抵接。

7.根据权利要求5或6中任一项所述的刻蚀机去水气装置的升降机构，其特征在于，所述浮动接头(22)的侧壁的中部环设有凸块，所述浮动接头(22)随伸缩臂(42)向下运动过程中所述凸块的下端面与缸体(41)上端抵接。

8.根据权利要求7所述的刻蚀机去水气装置的升降机构，其特征在于，所述伸缩臂(42)的伸缩长度为8-12mm。