[实用新型]半导体加热炉有效

专利信息
申请号: 201720768737.7 申请日: 2017-06-28
公开(公告)号: CN207335427U 公开(公告)日: 2018-05-08
发明(设计)人: 李晓佳;王毅 申请(专利权)人: 扬州扬杰电子科技股份有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;F27D1/10
代理公司: 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283 代理人: 周全
地址: 225008 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 半导体 加热炉
【说明书】:

半导体加热炉;提供了一种结构紧凑合理,保温效果稳定的炉管保温装置。包括分别为筒状结构的炉管和炉膛,所述炉管的两端分别从炉膛的内腔伸出,所述炉管的外壁设有石棉层,所述炉膛的两侧壁分别设有保温装置,所述保温装置套设在所述石棉层的外侧。本实用新型通过保温装置实现炉膛的侧边与炉管表面石棉层之间的保温,提高炉温的稳定性,放置炉管与炉膛之间空气流动导致炉温产生较大波动,造成产品品质的下降;保温装置优先选用法兰与保温层的装配方式,确保炉温的稳定性,利用弹性挡圈进一步夯实炉膛与石棉层之间的缝隙。本实用新型具有结构紧凑,保温效果稳定等特点。

技术领域

本实用新型涉及化工设备领域,尤其设有炉管保温装置。

背景技术

生产过程中,由于炉管与炉膛存在一定的间距,需在炉管外壁与炉膛的间距处通过人工塞石棉方式进行保温,避免炉管与炉膛之间空气流动导致炉温较大波动;由于受炉管与炉膛间距大小的限制,需人为调整石棉厚度及外形,操作过程中,因石棉填充不足,极易影响炉管及炉膛间气流,进而对炉温产生影响,导致产品异常及炉管频繁温度波动使用寿命下降等问题。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题,提供了一种结构紧凑合理,保温效果稳定的炉管保温装置。

本实用新型的技术方案是:包括分别为筒状结构的炉管和炉膛,所述炉管的两端分别从炉膛的内腔伸出,所述炉管的外壁设有石棉层,所述炉膛的两侧壁分别设有保温装置,所述保温装置套设在所述石棉层的外侧。

所述保温装置包括保温层和法兰;所述法兰套设在所述炉管的外壁,并与所述炉膛的侧壁可拆卸连接,所述炉膛的侧壁与法兰之间设有保温层。

所述保温层包括石棉垫。

所述保温层包括依次贴合的反射膜和石棉垫。

所述保温层贴合炉膛的一侧设有固定连接的弹性挡圈,所述弹性挡圈的前端伸入炉膛与石棉层之间;所述弹性挡圈的横截面为直角三角形,所述弹性挡圈的斜边与炉膛接触。

所述保温装置包括第一弧形压片和第二弧形压片,所述第二弧形压片的两端设有容纳第一弧形压片的凹槽,所述第一弧形压片和第二弧形压片分别与炉膛的连接面设有保温层。

所述第二弧形压片的外侧面设有液压缸。

本实用新型通过保温装置实现炉膛的侧边与炉管表面石棉层之间的保温,提高炉温的稳定性,放置炉管与炉膛之间空气流动导致炉温产生较大波动,造成产品品质的下降;保温装置优先选用法兰与保温层的装配方式,确保炉温的稳定性,利用弹性挡圈进一步夯实炉膛与石棉层之间的缝隙。本实用新型具有结构紧凑,保温效果稳定等特点。

附图说明

图1是实施例一的轴向截面结构示意图;

图2是实施例一的左视图;

图3是实施例二的结构示意图

图中1是炉管,2是炉膛,3是石棉层, 411是法兰,412是弹性挡圈,421是第一弧形压片,422是第二弧形压片,423是液压缸。

具体实施方式

实施例一

本实用新型如图1-2所示,包括分别为筒状结构的炉管1和炉膛2,所述炉管1的两端分别从炉膛2的内腔伸出,所述炉管1的外壁设有石棉层3,所述炉膛2的两侧壁分别设有保温装置,所述保温装置套设在所述石棉层3的外侧。

石棉层3包裹于炉管1的外壁,石棉层3与炉膛2的侧边搭界处采用保温装置进行保温,确保炉温的稳定性。

所述保温装置包括保温层和法兰411;所述法兰411套设在所述炉管1的外壁,并与所述炉膛2的侧壁可拆卸连接,所述炉膛2的侧壁与法兰411之间设有保温层。

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