[实用新型]一种适用于力矩检测的差动式电容传感器

权利要求书

1.一种适用于力矩检测的差动式电容传感器，其特征在于：它至少包括力矩输入盘(1)、力矩输出盘(2)、一对感应电容的动电极(3)、一对感应电容的静电极(4)和基板(5)；

所述感应电容的动电极(3)包括感应电容的动电极一(3-1)和感应电容的动电极二(3-2)；

所述感应电容的静电极(4)包括感应电容的静电极一(4-1)和感应电容的静电极二(4-2)；

所述感应电容的动电极一(3-1)与感应电容的静电极一(4-1)位置相互垂直，构成第一个垂直电极型电容器；所述感应电容的动电极二(3-2)与感应电容的静电极二(4-2)位置相互垂直，构成第二个垂直电极型电容器；

所述感应电容的动电极(3)与感应电容的静电极(4)构成差动式结构垂直电极型电容器。

2.根据权利要求1所述的一种适用于力矩检测的差动式电容传感器，其特征在于：所述感应电容的动电极(3)位于力矩输入盘(1)的外环和力矩输出盘(2)的内环之间且与力矩输入盘(1)的外环固连为一体。

3.根据权利要求1所述的一种适用于力矩检测的差动式电容传感器，其特征在于：所述感应电容的动电极一(3-1)和感应电容的动电极二(3-2)关于Y轴对称分布。

4.根据权利要求1所述的一种适用于力矩检测的差动式电容传感器，其特征在于：所述感应电容的静电极一(4-1)与感应电容的静电极二(4-2)分别位于感应电容的动电极一(3-1)与感应电容的动电极二(3-2)同一侧；且所述感应电容的静电极一(4-1)与感应电容的静电极二(4-2)分别与感应电容的动电极一(3-1)与感应电容的动电极二(3-2)保留有一定间隙。

5.根据权利要求1所述的一种适用于力矩检测的差动式电容传感器，其特征在于：所述差动式结构垂直电极型电容器是由感应电容的动电极(3)与感应电容的静电极(4)所形成的第一个垂直电极型电容器和第二个垂直电极型电容器构成。

6.根据权利要求1所述的一种适用于力矩检测的差动式电容传感器，其特征在于：所述感应电容的静电极(4)紧临基板(5)的凹槽(6)处；所述基板(5)固定在力矩输出盘(2)的凸台(7)上。

7.根据权利要求1或5所述的一种适用于力矩检测的差动式电容传感器，其特征在于：所述感应电容的动电极(3)沿所述力矩输入盘(1)的外环绕原心O转动微小角位移，一个所述垂直电极型电容器电容增加或减小到C₁，则另一个所述垂直电极型电容器电容减小或增加到C₂，以C₁-C₂作为垂直电极型电容传感器的测量信号，即实现垂直电极型电容器差动式测量电容变化量，提高了传感器的灵敏度与线性度。