[实用新型]太阳能电池板输送吹扫装置有效
申请号: | 201720562340.2 | 申请日: | 2017-05-19 |
公开(公告)号: | CN206806298U | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
发明(设计)人: | 赵江华;刘惊雷;唐磊;陈桂宝 | 申请(专利权)人: | 江苏荣马新能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京精金石专利代理事务所(普通合伙)11470 | 代理人: | 刘晔 |
地址: | 223700 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能 电池板 输送 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能电池板生产过程中丝网印刷工序辅助装置,具体涉及一种电池板表面微细颗粒吹扫装置。
背景技术
常规晶体硅太阳电池工艺流程通常包括如下工艺步骤:制绒→扩散→刻蚀→PECVD→丝网印刷→烧结→测试。
在PECVD工艺段,为追求更高的电池转换效率,管式PECVD的使用愈趋普遍。但在管式PECVD工艺过程,硅片往往处于微颗粒较多的环境中。这些微颗粒的来源通常包括如下几方面:插片过程硅片与石墨舟卡点间的硬性碰撞、等离子体轰击过程引起的硅片表面损伤、冷热循环造成的陶瓷棒损坏等。经PECVD工艺处理,部分硅片表面将不可避免地带有少量微颗粒,这些微细颗粒对后续印刷的粘结强度影响非常大,单位面积的印刷丝线与电池板之间存在超过一定限值的微细颗粒就会导致印刷丝线脱落。在后续丝网印刷过程中,如不预先对硅片表面残留微颗粒进行有效清除,将引起印刷不良、网版崩版、电池片批量隐裂等一系列负面影响,从而导致生产良率下降、制造成本上升。
针对PECVD后硅片表面微颗粒清除,晶体硅太阳电池制造行业中已有部分措施,如在上料前,采用手持式气枪对花篮内的硅片进行来回吹扫;上料过程,在硅片正上方加装吹气装置,对硅片表面进行垂直吹扫等。尽管如此,上述方法均存在明显的弊端。采用手持式气枪吹扫,主要弊端为:气枪压力难以保证,过大的初始气流可能导致电池片瞬间破裂,而过小的气流则不足以对硅片表面微颗粒进行有效清除;且人工操作限于人工操作熟练度以及认真程度等,存在更多的不可控因素,导致后续丝网印刷不合格率上升或产品使用耐久度降低。
也有一些研究披露了机械化的吹扫装置,如中国专利CN2016205252376公开了一种吹扫装置,该装置在输送皮带上使用真空吸盘固定太阳能电池板后从侧面对电池板表面进行吹扫。这种吹扫方式能够清除电池板表面的较大颗粒,而对于粒径小的微细颗粒效果并不理想,微细颗粒的比表面较大,与电池板的接触面积大,且表面能也比大颗粒大,粘结力更强,单方向吹扫很难将微细颗粒清扫干净。
也有多方向同时吹扫装置如中国专利CN2015205765391,公开的一种三方向同时吹扫装 置,该装置用于印刷后的吹扫,这种三方向同时吹扫,且进气压力相同的装置,仍然相当于是单向吹扫,压力最终汇集到三个方向风力平衡点处,并向气压小的方向输送。如果用于印刷之前,三个方向的风压力相同,向中间聚集,容易造成扬尘,导致二次污染。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种三方向交叉吹扫装置,该装置能够提高太阳能电池板表面微细颗粒吹扫洁净程度。
为了实现上述目的,本实用新型包括一个输送皮带,输送皮带上表面放置太阳能电池板,还包括吹扫组件,所述吹扫组件包括两个侧面吹风装置和一个正面吹风装置,所述侧面吹风装置包括一个左侧吹风装置和一个右侧吹风装置;所述左侧吹风装置和右侧吹风装置的送风方向与输送皮带的横截面平行,且指向太阳能电池板,左侧吹风装置与右侧吹风装置的出风方向不相交;
所述正面吹风装置位于输送皮带的上方,其吹风方向与输送皮带的输送方相逆,且指向太阳能电池板,并与输送皮带输送方向所在纵向平面平行;
还包括一个第一压缩空气源,所述右侧吹风装置通过右侧送风管与第一压缩空气源连通,所述正面吹风装置的右端通过右端送风管与第一压缩空气源连通;
还包括一个第二压缩空气源,所述左侧吹风装置通过左侧送风管与第二压缩空气源连通,所述正面吹风装置的左端通过左端送风管与第二压缩空气源连通。
通过设置吹风方向不相交的左右两侧的侧面吹风装置,太阳能电池板输送过程中,能够先后受到两个方向的横向吹扫风,从两个方向分别清理微细颗粒。由于微细颗粒的表面并不是圆的,其与粘附表面之间的夹角在不同的方向并不相同,夹角小的一面与粘附表面粘结更紧密,难以吹扫,但从其它方向吹扫时能够增大吹扫成功的概率。
同时仅从侧面吹扫,由于吹扫面积有限,容易将风力大的部位的颗粒吹到已经吹扫过的表面上去。因此通过正面吹扫装置,能够避免这种情况的发生,进一步提高清理能力,也能增加一个方向的吹扫,加大清洁力度。
优选的,所述左侧吹风装置和右侧吹风装置的出风方向与太阳能电池板的上表面的夹角在0-10度范围内。出风方向与太阳能电池板夹角越大对太阳能电池板表面的压力就越大,不利于粘附较强的微细颗粒的吹扫,小角度吹扫便于将微细颗粒与粘附表面分离开,且不易将颗粒吹散,二是沿吹风方向行进,提高清洁能力的同时防止二次污染的发生。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造