[实用新型]一种晶圆卡匣

权利要求书

1.一种晶圆卡匣，其特征在于，包括：底座和卡匣主体，所述卡匣主体连接在所述底座上，所述卡匣主体由底板、左侧板、右侧板、前侧板和后侧板围合而成，所述底板连接在底座上，所述左侧板和右侧板相对设置，所述左侧板上开设有多个左卡槽，所述右侧板上开设有多个右卡槽，所述左卡槽和右卡槽一一对应，所述左卡槽和右卡槽的轴线与水平面之间具有倾角，所述左卡槽和右卡槽的最大槽宽不小于晶圆厚度。

2.根据权利要求1所述的晶圆卡匣，其特征在于，所述底板与水平面之间具有倾角，所述左侧板和右侧板均垂直连接在所述底板上，所述左侧板沿其高度方向开设有所述左卡槽，所述右侧板沿其高度方向开设有所述右卡槽。

3.根据权利要求2所述的晶圆卡匣，其特征在于，所述底板与水平面之间呈α度角，1≤α≤75。

4.根据权利要求1所述的晶圆卡匣，其特征在于，所述底板平行于水平面设置，所述左侧板和右侧板均垂直连接在所述底板上，所述左侧板上倾斜地开设有左卡槽，所述右侧板上倾斜地开设有右卡槽。

5.根据权利要求4所述的晶圆卡匣，其特征在于，所述左卡槽和右卡槽的轴线与水平面之间均呈β度角，10≤β≤89。

6.根据权利要求1—5任一项所述的晶圆卡匣，其特征在于，所述左卡槽和右卡槽的水平截面均呈“V”型。