[实用新型]晶片转运装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶片生产工艺领域，有尤其涉及一种晶片转运装置。

背景技术

晶片生产过程中需要用转运架进行转运，完成工序之间的衔接，在转运架上有铁氟龙涂层，确保转运架本身耐腐蚀。这种转运架称为铁氟龙舟，在晶片装入铁氟龙舟中时，晶片本体容易与铁氟龙舟产生碰撞，从而导致晶片损伤。

针对这一问题，出现了许多避免晶片与铁氟龙舟进行碰撞的方法，例如在铁氟龙舟内增加海绵软胶，在装入过程中对作用力进行缓冲减小碰撞力道，避免晶片在装运过程中的损伤。也有直接避免相互碰撞的设计，例如，国家知识产权局2016-12-14公开的一项实用新型专利（申请号：2016207135396，名称：一种LED晶片转移架）包括：架体，包括左弧形立板、右弧形立板、横梁；提手调节机构，包括移动组件、固定组件，所述移动组件设置于所述右弧形立板上，所述固定组件设置于所述左弧形立板上，所述移动组件包括固定导轨、滑块，所述固定组件包括可旋转的旋钮；提手，所述提手为柔性材质，所述提手的一端固定于所述滑块上、另一端上设有过孔。需要使用时，确定提手的过孔脱离旋钮使得该端呈自由端，然后将滑块滑到最底端，再将LED晶片放入架体内，最后将滑块向上滑动，然后将过孔穿过旋钮并旋转旋钮使得过孔被阻挡，这样即可提起提手实现LED晶片叠放时的搬运。但是这样防碰撞的结构复杂，制作成本高、使用不便且仅能适配一种规格的晶片，应用范围窄。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了一种结构简单、成本低且适配多种规格晶片、应用范围广的晶片转运装置。

本实用新型的技术方案是：包括上部开口的箱体和设于箱体内的若干挡板，其特征在于，所述挡板上设有晶片固定装置，所述晶片固定装置包括对称设于挡板上的弧形固定块和设于所述弧形固定块顶部的导引块；

所述弧形固定块中间与所述挡板接触的一侧设有T形滑块，所述挡板上设有与所述T形滑块相适配的滑槽。

所述T形滑块上设有拉簧，所述拉簧设于所述T形滑块与所述挡板之间。

所述T形滑块上设有紧固装置，所述紧固装置包括套设在所述T形滑块上的螺母和设于所述螺母与T形滑块之间的垫片。

所述挡板、弧形固定块和导引块与晶片接触的部分设有海绵软胶层，所述箱体的外侧对称设有把手。

本实用新型利用导引块导引晶片装入，为了降低对晶片的伤害，导引块的内侧壁与晶片下半弧贴合，避免对晶片造成损坏，不会损伤晶片，对晶片的保护效果好。当晶片装入时晶片经过导引块，将弧形固定装置撑开，在晶片放置进去后弧形固定块即夹紧晶片，避免晶片掉落或与转运装置直接接触，从而影响晶片应力，能够防止晶片损伤，降低成本由于晶片本体为圆形，圆弧形的固定块可以更好的与晶片边缘贴合提高夹紧效果，进一步防止晶片掉落损伤。防护效果好。弧形固定块中间与所述挡板接触的一侧设有T形滑块，所述挡板上设有与所述T形滑块相适配的滑槽。滑槽与T形滑块配合，使得与T形滑块连接的弧形固定块能够在挡板上滑动，适应不同打小规格的晶片，解决了现有技术中一种规格的晶片就需要有一款适配的转运装置的缺陷，适用范围广，降低生产成本，提高生产效率。且利用滑块滑槽的简单组合，与现有技术相比，结构简单，生产成本低。总之本实用新型具有结构简单、成本低且适配多种规格晶片、应用范围广的优点。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图，

图2是本实用新型中挡板结构示意图，

图3是图2的右侧视图；

图中1是箱体，2是挡板，3是固定装置，31是弧形固定块，32是导引块，33是T形滑块，34是滑槽，4是晶片，5是把手。

具体实施方式

本实用新型如图1-3所示，包括上部开口的箱体1和设于箱体内的若干挡板2，所述挡板上设有晶片固定装置3，所述晶片固定装置包括对称设于挡板上的弧形固定块31和设于所述弧形固定块顶部的导引块32；当晶片4装入时，晶片4经过导引块，将弧形固定装置撑开，在晶片4放置进去后弧形固定块即夹紧晶片4，避免晶片4掉落或与转运装置直接接触，从而影响晶片应力，能够防止晶片损伤，降低成本由于晶片4本体为圆形，圆弧形的固定块可以更好的与晶片边缘贴合提高夹紧效果，进一步防止晶片掉落损伤。

所述弧形固定块中间与所述挡板接触的一侧设有T形滑块33，所述挡板上设有与所述T形滑块相适配的滑槽34。滑槽与T形滑块配合，使得与T形滑块连接的弧形固定块能够在挡板上滑动，适应不同打小规格的晶片4，解决了现有技术中一种规格的晶片就需要有一款适配的转运装置的缺陷，适用范围广，降低生产成本，提高生产效率。