[实用新型]硅片取放装置有效
申请号: | 201720408464.5 | 申请日: | 2017-04-18 |
公开(公告)号: | CN206742265U | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
发明(设计)人: | 侯玉;张春华;衡阳;陈佳男;李琰琪;郑旭然;邢国强 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/687 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 翟广凤 |
地址: | 215129 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域,特别是涉及一种硅片取放装置。
背景技术
现有的可持续自然能源中,太阳能无疑是一种最清洁、最普遍、最有潜力的替代能源,特别是在化石燃料等不可再生能源日渐消耗殆尽的情况下。太阳能发电装置,又称为太阳能电池或光伏电池,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。太阳能发电装置的核心是电池片,目前的绝大多数电池片都采用硅片制成。
晶体硅太阳能电池的制备工艺主要包括:清洗、去损伤层、制绒、扩散制结、刻蚀、沉积减反射膜、印制、烧结及电池片测试等。其中,各道工艺之间的主要运输工具为花篮,在电池的制造过程中,由于工艺和人为操作等问题,会造成花篮中的硅片存在缺陷,需要将花篮中的硅片取出。
在日常生产过程中,取放硅片的主要工具为镊子,但在使用镊子夹住并移动硅片时,由于手部用力不均衡,不易将硅片夹稳。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种硅片取放装置,以解决现有技术中存在的硅片不易被稳定地夹住的技术问题。
为了实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:
本实用新型提供的一种硅片取放装置,包括通过转轴铰接的第一夹臂与第二夹臂;
所述第一夹臂的一端与所述第二夹臂的一端配合,以夹取硅片;
并且,所述第一夹臂的一端与所述第二夹臂的一端均设置有垫片。
进一步地,所述第一夹臂的内部中空。
进一步地,所述第一夹臂的另一端连接有抽气设备。
进一步地,所述第一夹臂的一端设置有第一气孔,所述第一气孔与所述第一夹臂的内部连通;
所述垫片上设置有通气孔,所述通气孔与所述第一气孔连通。
进一步地,所述第一夹臂的另一端与所述转轴之间的外壁上设置有第二气孔,所述第二气孔与所述第一夹臂的内部连通。
进一步地,所述第二夹臂与所述第一夹臂结构相同。
进一步地,所述第一夹臂与所述第二夹臂均包括依次连接的夹取段、连接段及握持段,且所述夹取段与所述握持段相互平行;
所述垫片设置在所述夹取段上;
所述第一夹臂的连接段的中部与所述第二夹臂的连接段的中部通过所述转轴铰接。
进一步地,所述第二气孔设置在所述握持段上,且靠近所述连接段。
进一步地,还包括设置在所述第一夹臂与所述第二夹臂之间的第三夹臂;
所述第三夹臂的一端固定在所述转轴上,所述第三夹臂的另一端设置有垫片。
进一步地,所述第三夹臂的内部中空。
本实用新型提供的硅片取放装置,第一夹臂和第二夹臂通过转轴连接,二者的一端用于对硅片进行夹取,二者的该端均设置有垫片,增大了与硅片的接触面积,能够将硅片夹得更稳,便于夹取硅片后对硅片进行移动,解决了使用镊子夹取并移动硅片时,不容易稳定地夹住硅片的问题,适于进行推广应用。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例一提供的一种硅片取放装置的整体结构示意图;
图2为本实用新型实施例一提供的一种硅片取放装置中第一夹臂的结构示意图;
图3为本实用新型实施例一提供的一种硅片取放装置中第二夹臂的结构示意图;
图4为本实用新型实施例一提供的一种硅片取放装置中第三夹臂的结构示意图。
附图标记:
1-第一夹臂; 2-第二夹臂; 3-垫片;
4-真空导管; 5-转轴; 6-第三夹臂;
11-夹取段;12-连接段;13-握持段;
14-第一气孔;15-第二气孔;24-第三气孔;
25-第四气孔。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的