[实用新型]硅片取放装置

权利要求书

1.一种硅片取放装置，其特征在于，包括通过转轴铰接的第一夹臂与第二夹臂；

所述第一夹臂的一端与所述第二夹臂的一端配合，以夹取硅片；

并且，所述第一夹臂的一端与所述第二夹臂的一端均设置有垫片。

2.根据权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于，所述第一夹臂的内部中空。

3.根据权利要求2所述的硅片取放装置，其特征在于，所述第一夹臂的另一端连接有抽气设备。

4.根据权利要求3所述的硅片取放装置，其特征在于，所述第一夹臂的一端设置有第一气孔，所述第一气孔与所述第一夹臂的内部连通；

所述垫片上设置有通气孔，所述通气孔与所述第一气孔连通。

5.根据权利要求4所述的硅片取放装置，其特征在于，所述第一夹臂的另一端与所述转轴之间的外壁上设置有第二气孔，所述第二气孔与所述第一夹臂的内部连通。

6.根据权利要求1至5任一项所述的硅片取放装置，其特征在于，所述第二夹臂与所述第一夹臂结构相同。

7.根据权利要求5所述的硅片取放装置，其特征在于，所述第一夹臂与所述第二夹臂均包括依次连接的夹取段、连接段及握持段，且所述夹取段与所述握持段相互平行；

所述垫片设置在所述夹取段上；

所述第一夹臂的连接段的中部与所述第二夹臂的连接段的中部通过所述转轴铰接。

8.根据权利要求7所述的硅片取放装置，其特征在于，所述第二气孔设置在所述握持段上，且靠近所述连接段。

9.根据权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于，还包括设置在所述第一夹臂与所述第二夹臂之间的第三夹臂；

所述第三夹臂的一端固定在所述转轴上，所述第三夹臂的另一端设置有垫片。

10.根据权利要求9所述的硅片取放装置，其特征在于，所述第三夹臂的内部中空。