[实用新型]喷气装置以及包含该喷气装置的生产机台有效
| 申请号： | 201720265850.3 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN206574671U | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 安禄炫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷气 装置 以及 包含 生产 机台 | ||
1.一种喷气装置，其特征在于，包括内部具有空腔的喷气管道，所述喷气管道的外壁上开设有与所述空腔贯通的喷气孔，所述喷气孔的中心轴线与所述喷气管道的横截面的夹角大于或等于0°且小于90°，且所述喷气孔的中心轴线与所述喷气管道的中心轴线不相交。
2.如权利要求1所述的喷气装置，其特征在于，所述喷气孔的中心轴线与所述喷气管道的横截面的夹角大于0°；所述喷气管道还包括至少另一空腔，所述至少另一空腔周向围绕所述空腔设置；所述喷气管道具有相对的第一端和第二端，所述至少另一空腔至少贯通所述第一端，所述空腔至多贯通所述第二端，且所述喷气孔的出气口朝向所述第一端；所述喷气管道的外壁上另开设有与所述空腔贯通的第一进气孔；所述喷气管道的外壁上还开设有与所述至少另一空腔贯通的第二进气孔。
3.如权利要求1所述的喷气装置，其特征在于，所述喷气孔为多个；多个所述喷气孔围绕所述空腔的周向布置，和/或多个所述喷气孔沿所述喷气管道的中心轴线方向布置。
4.如权利要求1所述的喷气装置，其特征在于，所述空腔与所述喷气管道的一端贯通，所述喷气孔的出气口朝向所述喷气管道未被贯通的一端；或者，所述空腔与所述喷气管道的两端均不贯通，所述喷气管道的外壁上另开设有与所述空腔贯通的进气孔；或者，所述空腔与所述喷气管道的一端贯通，所述喷气管道的外壁上另开设有与所述空腔贯通的进气孔，所述喷气孔的出气口朝向所述喷气管道被贯通的一端；或者，所述空腔与所述喷气管道的两端贯通，所述喷气孔的出气口朝向所述喷气管道的其中一端。
5.如权利要求1所述的喷气装置，其特征在于，所述喷气孔的中心轴线偏离所述喷气管道径向的角度为60°～70°。
6.如权利要求1所述的喷气装置，其特征在于，所述喷气管道的外壁上还开设有与所述空腔贯通的另一喷气孔，所述另一喷气孔的中心轴线与所述喷气管道的横截面的夹角大于或等于0°且小于90°，且所述另一喷气孔的中心轴线与所述喷气管道的中心轴线相交。
7.如权利要求6所述的喷气装置，其特征在于，所述另一喷气孔为多个，多个所述另一喷气孔围绕所述空腔的周向布置，和/或多个所述另一喷气孔沿所述喷气管道的中心轴线方向布置。
8.如权利要求6所述的喷气装置，其特征在于，所述喷气孔的中心轴线与所述喷气管道的横截面的夹角大于0°，且所述另一喷气孔的中心轴线与所述喷气管道的横截面的夹角等于0°。
9.一种生产机台，其特征在于，包括如权利要求1至8中任一项所述的喷气装置，所述生产机台还包括一容纳空间，所述喷气孔的出气口向所述容纳空间喷气。
10.如权利要求9所述的生产机台，其特征在于，所述生产机台为刻蚀机台。
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