[实用新型]一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置

权利要求书

1.一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置，其特征在于：该装置包括计算机(1)、NI板卡(2)、锁相模块(3)、电流放大器(4)、飞秒光纤激光器(5)、电压放大器(6)、一分二光纤耦合器(7)、太赫兹发射器(8)、太赫兹探测器(9)、双面抛光硅片(10)、笼式系统固定架(11)、太赫兹聚焦透镜(12)和二维电动平移台(13)；

所述太赫兹发射器(8)和太赫兹探测器(9)固定在笼式系统固定架(11)相邻的两个圆孔上，太赫兹探测器(9)连接电流放大器(4)；

所述电流放大器(4)连接锁相模块(3)；

所述锁相模块(3)连接NI板卡(2)；

所述NI板卡(2)同时连接锁相模块(3)、电压放大器(6)和计算机(1)；

所述电压放大器(6)连接太赫兹发射器(8)；

所述飞秒光纤激光器(5)连接一分二光纤耦合器(7)；

所述一分二光纤耦合器(7)分别连接太赫兹发射器(8)和太赫兹探测器(9)；

所述双面抛光硅片(10)以45°角对角放置在笼式系统固定架(11)内；

所述太赫兹聚焦透镜(12)固定在笼式系统固定架(11)上；

所述笼式系统固定架(11)固定在二维电动平移台(13)上。

2.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置，其特征在于，所述太赫兹发射器(8)和太赫兹探测器(9)为夫琅禾费光纤型光电导天线。

3.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置，其特征在于，所述飞秒光纤激光器(5)为CALMAR小型飞秒光纤激光器。

4.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置，其特征在于，所述一分二光纤耦合器(7)分束前为色散补偿光纤和保偏光纤，分束后为两个长度不同的保偏光纤。

5.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置，其特征在于，所述双面抛光硅片(10)的厚度h＝400μm，边长d＝30mm，电阻率ρ＝10000Ω·cm。

6.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置，其特征在于，所述笼式系统固定架(11)为C4W30mm笼式立方体、B4CRP/M精密旋转调节平台和FFM1笼式兼容安装座的组合。

7.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置，其特征在于，所述NI板卡(2)为NI-USB6211多功能DAQ。

8.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置，其特征在于，所述太赫兹聚焦透镜(12)为Teflon透镜，直径d＝25.4mm，焦距f＝50mm。

9.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置，其特征在于，所述锁相模块(3)为HB-292(I-2)型高性能双相锁相放大器。