[实用新型]伸缩式晶舟夹具

说明书

技术领域

本揭示涉及一种晶舟夹具，特别是涉及一种伸缩式晶舟夹具。

背景技术

在半导体产业的制造工厂中通常配置有多台的湿式工艺设备用于批次式的处理大量的晶圆。为了因应电子产品的种类会使用不同形状和尺寸的晶圆或基板。因此在进行湿式工艺时，使用的晶舟(cas sette)种类也会有所不同。举例来说，当以大型基板进行湿式工艺时，必须采用大尺寸的晶舟来承载所述大型基板。

然而，大尺寸晶舟的构型复杂且重量重，若以现有的晶舟夹具难以有效地夹持住所述大尺寸晶舟。具体来说，现有的晶舟夹具是采用勾取或者是以非垂直于晶舟方向的夹持力(例如，以旋转方式对晶舟施予一斜向的夹持力)来夹持晶舟，此方式容易导致舟晶发生滑动或脱落。

有鉴于此，有必要提出一种晶舟夹具，用以解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容

为解决上述现有技术的问题，本揭示的目的在于提供一种伸缩式晶舟夹具，其是通过伸缩式的方法控制晶舟夹具以垂直于晶舟的方向施加或释放夹持力，进而避免现有技术中以非垂直于晶舟方向进行夹持，容易导致舟晶发生滑动或脱落的情况。

为达成上述目的，本揭示提供一种伸缩式晶舟夹具，适用于设置在一高架传输系统以传送一晶舟。所述高架传输系统包含沿着一第一方向延伸的轨道，所述轨道具有一第一面和相对所述第一面的第二面，其中所述伸缩式晶舟夹具包括：一对连动杆，沿着所述第一方向间隔设置在所述轨道的所述第一面，且每一所述连动杆的第一端具有一凸块；一滑块组，设置在所述对连动杆之间，具有一八字型斜向开槽，其中所述对连动杆的所述对凸块分别嵌设在所述八字型斜向开槽的相对的两斜向开槽内，使得所述一对凸块可沿着所述八字型斜向开槽滑动；以及一对夹持臂，沿着在一第二方向上且垂直所述第一面和所述第二面的直线延伸，其中所述夹持臂的一端与对应的所述连动杆连接，以及所述夹持臂的另一端具有一用于卡扣在所述晶舟上的卡扣件；其中当所述滑块组沿着一第三方向移动时，所述对连动杆随着所述八字型斜向开槽而沿着在所述第一方向上的直线相对移动，进而改变所述对连动杆之间的距离。

于本揭示其中之一优选实施例当中，所述滑块组包含：一基座，固定在所述轨道上，具有一沿着所述第三方向延伸的滑槽；一滑块，通过所述滑槽可滑动地安装在所述基座上；以及一导向块，固定在所述滑块上，具有所述八字型斜向开槽。

于本揭示其中之一优选实施例当中，所述滑块具有一限位块，以及所述基座的末端设有一与所述限位块相配合的止挡部。

于本揭示其中之一优选实施例当中，所述八字型斜向开槽由间隔设置的所述两斜向开槽组成，并且彼此对称于在所述第三方向上延伸的直线。

于本揭示其中之一优选实施例当中，所述八字型斜向开槽的所述两斜向开槽的延伸方向相反，且所述两斜向开槽之间的距离为逐渐改变。

于本揭示其中之一优选实施例当中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向三者互相垂直。

于本揭示其中之一优选实施例当中，所述伸缩式晶舟夹具还包含一对沿着所述第三方向延伸的连接杆，横跨在所述轨道的所述第一面上，其中每一所述连接杆的两端与对应的所述夹持臂连接，以及每一所述连接杆还与对应的所述连动杆的第二端连接，使得所述对连接杆随着所述对连动杆之间距离的改变而移动，进而使所述对夹持臂沿着在所述第一方向上的直线相对移动以改变所述对夹持臂之间的距离。

于本揭示其中之一优选实施例当中，所述伸缩式晶舟夹具还包含一对缓冲块，设置在所述轨道上，并且位在所述对连接杆之间及面对对应的连接杆，用以缓冲对应的所述连接杆前进。

于本揭示其中之一优选实施例当中，所述伸缩式晶舟夹具还包含一对定位感测器，其中所述连接杆上设有与所述对定位感测器相配合的遮蔽块，其中当所述伸缩式晶舟夹具在一夹取状态时，所述遮蔽块遮蔽住其中之一所述定位感测器，以及当所述伸缩式晶舟夹具在一松开状态时，所述遮蔽块遮蔽住另一所述定位感测器。

于本揭示其中之一优选实施例当中，所述夹持臂的所述卡扣件包含多个卡勾，用于卡扣在所述晶舟的对应的开口上。

于本揭示其中之一优选实施例当中，所述夹持臂的所述卡扣件包含一横杆，用于卡扣在所述晶舟的对应的侧边凹槽上。

相较于先前技术，本揭示通过控制滑块组以改变两连动杆之间的距离，进而使两夹持臂随着两连动杆之间的距离改变而沿着一直线一同朝向晶舟靠近或者是远离晶舟。

附图说明

图1显示一种根据本揭示第一优选实施例的伸缩式晶舟夹具的第一动作位置示意图；