[实用新型]伸缩式晶舟夹具

权利要求书

1.一种伸缩式晶舟夹具，适用于设置在一高架传输系统以传送一晶舟，所述高架传输系统包含沿着一第一方向延伸的轨道，所述轨道具有一第一面和相对所述第一面的第二面，其特征在于，所述伸缩式晶舟夹具包括：

一对连动杆，沿着所述第一方向间隔设置在所述轨道的所述第一面，且每一所述连动杆的第一端具有一凸块；

一滑块组，设置在所述对连动杆之间，具有一八字型斜向开槽，其中所述对连动杆的所述对凸块分别嵌设在所述八字型斜向开槽的相对的两斜向开槽内，使得所述一对凸块可沿着所述八字型斜向开槽滑动；以及

一对夹持臂，沿着在一第二方向上且垂直所述第一面和所述第二面的直线延伸，其中所述夹持臂的一端与对应的所述连动杆连接，以及所述夹持臂的另一端具有一用于卡扣在所述晶舟上的卡扣件；

其中当所述滑块组沿着一第三方向移动时，所述对连动杆随着所述八字型斜向开槽而沿着在所述第一方向上的直线相对移动，进而改变所述对连动杆之间的距离。

2.如权利要求1所述的伸缩式晶舟夹具，其特征在于，所述滑块组包含：

一基座，固定在所述轨道上，具有一沿着所述第三方向延伸的滑槽；

一滑块，通过所述滑槽可滑动地安装在所述基座上；以及

一导向块，固定在所述滑块上，具有所述八字型斜向开槽。

3.如权利要求2所述的伸缩式晶舟夹具，其特征在于，所述滑块具有一限位块，以及所述基座的末端设有一与所述限位块相配合的止挡部。

4.如权利要求1所述的伸缩式晶舟夹具，其特征在于，所述八字型斜向开槽由间隔设置的所述两斜向开槽组成，并且彼此对称于在所述第三方向上延伸的直线。

5.如权利要求4所述的伸缩式晶舟夹具，其特征在于，所述八字型斜向开槽的所述两斜向开槽的延伸方向相反，且所述两斜向开槽之间的距离为逐渐改变。

6.如权利要求1所述的伸缩式晶舟夹具，其特征在于，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向三者互相垂直。

7.如权利要求1所述的伸缩式晶舟夹具，其特征在于，所述伸缩式晶舟夹具还包含一对沿着所述第三方向延伸的连接杆，横跨在所述轨道的所述第一面上，其中每一所述连接杆的两端与对应的所述夹持臂连接，以及每一所述连接杆还与对应的所述连动杆的第二端连接，使得所述对连接杆随着所述对连动杆之间距离的改变而移动，进而使所述对夹持臂沿着在所述第一方向上的直线相对移动以改变所述对夹持臂之间的距离。

8.如权利要求7所述的伸缩式晶舟夹具，其特征在于，所述伸缩式晶舟夹具还包含一对缓冲块，设置在所述轨道上，并且位在所述对连接杆之间及面对对应的连接杆，用以缓冲对应的所述连接杆前进。

9.如权利要求7所述的伸缩式晶舟夹具，其特征在于，所述伸缩式晶舟夹具还包含一对定位感测器，其中所述连接杆上设有与所述对定位感测器相配合的遮蔽块，其中当所述伸缩式晶舟夹具在一夹取状态时，所述遮蔽块遮蔽住其中之一所述定位感测器，以及当所述伸缩式晶舟夹具在一松开状态时，所述遮蔽块遮蔽住另一所述定位感测器。

10.如权利要求1所述的伸缩式晶舟夹具，其特征在于，所述夹持臂的所述卡扣件包含多个卡勾，用于卡扣在所述晶舟的对应的开口上。

11.如权利要求1所述的伸缩式晶舟夹具，其特征在于，所述夹持臂的所述卡扣件包含一横杆，用于卡扣在所述晶舟的对应的侧边凹槽上。

12.一种伸缩式晶舟夹具，适用于设置在一具轨道的传输系统以传送一晶舟，其特征在于，包括：

一对连动杆，沿着第一方向间隔设置在所述轨道上，且所述对连动杆可在所述第一方向上相对移动来彼此接近或分开；

一滑块组，设置在所述对连动杆之间，其中所述滑块组的移动可带动所述对连动杆在所述第一方向上移动；以及

一对夹持臂，沿着在一第二方向上且垂直于所述轨道的直线延伸，其中所述夹持臂的一端与对应的所述连动杆连接以和对应的所述连接杆一起移动，以及所述夹持臂的另一端具有一用于卡扣在所述晶舟上的卡扣件；

其中当所述滑块组沿着一第三方向移动时，其带动所述对连动杆及所述夹持臂沿着在所述第一方向上的直线相对移动，进而改变所述对连动杆之间和所述夹持臂之间的距离。