[发明专利]一种银合金键合丝及其制造方法

权利要求书

1.一种银合金键合丝，其特征在于按重量计含有Au 3.5-10%，Pd 1-5%，微量添加元素Ca 50-100ppm、Be 1-50ppm、Cu 40-100ppm、In 40-60ppm，余量为Ag。

2.根据权利要求1所述的银合金键合丝，其特征是：所述银合金键合丝中Ag的重量百分比含量为86-90%。

3.权利要求1所述的银合金键合丝的制造方法，其特征在于包括下述步骤：

（1）熔铸：按比例将Au、Pd和微量添加元素加入到银原料中，经过真空熔炼和定向连续引铸工艺，获得直径为6-8毫米的线材；

（2）拉丝：对步骤（1）得到的线材进行拉丝，获得直径为50-280μm的银合金线；

（3）中间退火：步骤（2）拉丝完成后，对银合金线进行中间退火，在退火过程中采用N₂来做为退火气氛，退火炉有效长度为600-1000mm，退火温度为300-600℃，退火速率为60-120m/min；

（4）对经步骤（3）中间退火处理的银合金线继续进行拉丝，获得直径为15-40μm的银合金线；

（5）最后退火：对步骤（4）得到的银合金线进行最后退火，在退火过程中采用N₂来做为退火气氛，退火炉有效长度为600-1000mm，退火温度为300-600℃，退火速率为60-120m/min；

（6）冷却：最后退火结束后，将银合金线冷却至20-30℃，得到所需的银合金键合丝。