[发明专利]彩色滤光片基板及其制作方法

权利要求书

1.一种彩色滤光片基板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、提供衬底基板(10)，在所述衬底基板(10)上形成黑色矩阵(20)，所述黑色矩阵(20)在所述衬底基板(10)上围出间隔设置的数个子像素区，所述数个子像素区包括第一子像素区(11)、第二子像素区(12)、第三子像素区(13)；

步骤2、在所述衬底基板(10)上形成彩色滤光层(30)，在制作彩色滤光层(30)的过程中形成位于黑色矩阵(20)上的柱状隔垫物(40)；

所述彩色滤光层(30)包括位于第一子像素区(11)内的第一色阻单元(31)、位于第二子像素区(12)内的第二色阻单元(32)、位于第三子像素区(13)内的第三色阻单元(33)；

所述柱状隔垫物(40)由第一隔垫物单元(41)、第二隔垫物单元(42)、第三隔垫物单元(43)中的一层或者多层叠加形成；

所述第一色阻单元(31)与第一隔垫物单元(41)均由第一色阻层(51)构成；所述第二色阻单元(32)与第二隔垫物单元(42)均由第二色阻层(52)构成；所述第三色阻单元(33)与第三隔垫物单元(43)均由第三色阻层(53)构成；

步骤3、在所述衬底基板(10)、彩色滤光层(30)、黑色矩阵(20)、柱状隔垫物(40)上沉积透明导电薄膜(70)，形成位于所述衬底基板(10)、彩色滤光层(30)与黑色矩阵(20)上的公共电极(71)以及位于所述柱状隔垫物(40)上的透明导电层(72)，所述公共电极(71)与透明导电层(72)断开不相连。

2.如权利要求1所述的彩色滤光片基板的制作方法，其特征在于，所述柱状隔垫物(40)由第一隔垫物单元(41)、第二隔垫物单元(42)、第三隔垫物单元(43)从下至上依次叠加形成。

3.如权利要求2所述的彩色滤光片基板的制作方法，其特征在于，所述步骤2包括：

步骤21、在所述衬底基板(10)与黑色矩阵(20)上形成第一色阻层(51)，采用第一半色调光罩(61)对所述第一色阻层(51)进行曝光、显影，制得位于第一子像素区(11)内的第一色阻单元(31)、位于黑色矩阵(20)上的第一隔垫物单元(41)，所述第一色阻单元(31)与第一隔垫物单元(41)均由第一色阻层(51)构成，且所述第一隔垫物单元(41)的高度大于所述第一色阻单元(31)的高度；

步骤22、在所述衬底基板(10)、黑色矩阵(20)、第一色阻单元(31)、第一隔垫物单元(41)上形成第二色阻层(52)，采用第二半色调光罩(62)对所述第二色阻层(52)进行曝光、显影，制得位于第二子像素区(12)内的第二色阻单元(32)、位于第一隔垫物单元(41)上的第二隔垫物单元(42)；

所述第二色阻单元(32)与第二隔垫物单元(42)均由第二色阻层(52)构成，且所述第二隔垫物单元(42)的高度大于所述第二色阻单元(32)的高度；

步骤23、在所述衬底基板(10)、黑色矩阵(20)、第一色阻单元(31)、第二色阻单元(32)、第二隔垫物单元(42)上形成第三色阻层(53)，采用第三半色调光罩(63)对所述第三色阻层(53)进行曝光、显影，制得位于第三子像素区(13)内的第三色阻单元(33)、位于第二隔垫物单元(42)上的第三隔垫物单元(43)，所述第三色阻单元(33)与第三隔垫物单元(43)均由第三色阻层(53)构成，且所述第三隔垫物单元(43)的高度大于所述第三色阻单元(33)的高度；

在黑色矩阵(20)上依次叠加的第一隔垫物单元(41)、第二隔垫物单元(42)、第三隔垫物单元(43)共同构成柱状隔垫物(40)；

所述第一色阻单元(31)、第二色阻单元(32)、第三色阻单元(33)共同构成彩色滤光层(30)。