[发明专利]压电薄膜层叠体、压电薄膜基板以及压电薄膜元件

权利要求书

1.一种压电薄膜层叠体，其特征在于：

具备：

第一电极层、

层叠于所述第一电极层的第一氧化物层、

层叠于所述第一氧化物层的第二氧化物层、以及

层叠于所述第二氧化物层的压电薄膜，

所述第一氧化物层的电阻率高于所述第二氧化物层的电阻率，

所述第一氧化物层含有K、Na以及Nb，

所述压电薄膜含有(K,Na)NbO₃，

所述第一氧化物层的厚度T₁相对于所述压电薄膜的厚度T_p的比例T₁/T_p为0.0010～0.0150。

2.如权利要求1所述的压电薄膜层叠体，其特征在于：

所述压电薄膜层叠体的电阻率是1.0×10¹¹～1.0×10¹⁴Ωcm。

3.一种压电薄膜基板，其特征在于：

包含：权利要求1或2所述压电薄膜层叠体以及基板，

所述第一电极层位于所述基板与所述第一氧化物层之间。

4.一种压电薄膜元件，其特征在于：

包含：权利要求1或2所述的压电薄膜层叠体以及第二电极层，

所述第一氧化物层、所述第二氧化物层以及所述压电薄膜位于所述第一电极层与所述第二电极层之间。

5.一种压电致动器，其特征在于：

具备权利要求4所述的压电薄膜元件。

6.一种压电传感器，其特征在于：

具备权利要求4所述的压电薄膜元件。

7.一种磁头组件，其特征在于：

具备权利要求5所述的压电致动器。

8.一种磁头悬臂组件，其特征在于：

具备权利要求7所述的磁头组件。

9.一种硬盘驱动器，其特征在于：

具备权利要求8所述的磁头悬臂组件。

10.一种印刷头，其特征在于：

具备权利要求5所述的压电致动器。

11.一种喷墨印刷装置，其特征在于：

具备权利要求10所述的印刷头。