[发明专利]一种桌面型扫描电子显微镜

说明书

技术领域

本发明是一种桌面型扫描电子显微镜，属于电子设备技术领域。

背景技术

随着科学研究与工业生产进入了纳米领域，人们对显微技术、显微仪器的要求越来越高，需求也日益增长。桌面型扫描电子显微镜不同于传统大型扫描电镜，是一种全新的设计，其结合了光学显微镜与传统扫描电镜的优点。

现有技术公开了申请号为：201520950740.1的一种桌面型扫描电子显微镜，包括电子枪、物镜、光阑、样品承载台；所述样品承载台上设有样品，所述电子枪发出电子束，电子束穿过所述光阑上的电子束通道扫描所述样品，所述样品扫描后产生反射电子，还包括用于探测所述样品反射电子中背散射电子的背散射电子半导体探测器，所述背散射电子半导体探测器的输出端传输电信号至成像放大系统。本发明采用背散射电子半导体探测器的桌面型电子显微镜能够探测背散射电子并传递电信号，然后通过成像放大系统直接对该电信号处理生成图像，无需光电倍增管，减轻了整个仪器的重量，缩小了仪器体积，能够达到桌面型应用，符合普及型扫描电子显微镜的技术指标。但是其不足之处在于桌面型扫描电子显微镜需要移动场所时，其本身具有一定重量，不便于装置的移动。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种桌面型扫描电子显微镜，以解决桌面型扫描电子显微镜需要移动场所时，其本身具有一定重量，不便于装置的移动的问题。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种桌面型扫描电子显微镜，其结构包括电子枪、聚光镜一、电子探头、样品室、底座、拉杆、物镜、电源线、聚光镜二，所述样品室为中空箱体结构，采用半开放式结构，所述样品室上板一体成型设有圆孔，所述样品室前侧设有进料口，内腔设有电子探头，所述电子探头上端设有电源线，采用通电连接方式，所述聚光镜一上方位置设有电子枪，采用内置方式呈上下安装结构，所述聚光镜二位于样品室上方位置，所述样品室框架表面上方设有聚光镜一，所述聚光镜一始终位于电子探头上方位置，采用隔物安装呈分设排列方式，所述样品室下侧位于底座表面凹槽，所述底座侧边设有对应拉杆；所述拉杆由固定架、下杆、限位板、折叠杆、把件、弹簧按钮组成，所述固定架内槽与下杆采用插入连接方式固定，所述下杆上端位置设有限位板，所述限位板凹槽与折叠杆下端相嵌合，所述折叠杆上端与把件连接且构成“∏”形结构，所述把件上端位置设有弹簧按钮，所述固定架位于底座对应侧边位置上。

进一步地，所述电源线上方位置设有聚光镜二。

进一步地，所述电子枪位于聚光镜二上方位置。

进一步地，所述物镜与电源线相连接，呈上下结构。

进一步地，所述聚光镜二位于物镜上方位置。

进一步地，所述聚光镜一设在聚光镜二上方位置。

进一步地，所述折叠杆上下端杆体为固定，中段可活动。

进一步地，所述固定架平放状态设在底座内腔中，下杆也设在其中。

有益效果

本发明一种桌面型扫描电子显微镜，桌面型扫描电子显微镜主要通过电子枪与聚光镜一、聚光镜二及电子探头、物镜等主要装置的配合对样品室内的样品进行观察检测，需要移动场所时通过拉杆实现，首先握住把件后按下弹簧按钮，使得折叠杆顺着下杆拉出，折叠杆可折叠可伸缩，下杆通过限位板始终与固定架连为一体，拉出折叠杆后顺着两侧将把件靠在一起，并拢提起底座，通过折叠杆的特性，避免损坏装置表面，移动时具有省力作用。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明一种桌面型扫描电子显微镜的结构示意图；

图2为本发明的拉杆示意图；

图3为本发明的样品室内部连接结构示意图；

图4为本发明的弹簧按钮内部结构示意图。

图中：电子枪-1、聚光镜一-2、电子探头-3、样品室-4、底座-5、拉杆-6、固定架-601、下杆-602、限位板-603、折叠杆-604、把件-605、弹簧按钮-606、物镜-7、电源线-8、聚光镜二-9。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。