[发明专利]一种桌面型扫描电子显微镜在审

专利信息
申请号: 201711262109.2 申请日: 2017-12-04
公开(公告)号: CN107946160A 公开(公告)日: 2018-04-20
发明(设计)人: 张良 申请(专利权)人: 福州热丰信息科技有限公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20;H01J37/26;H01J37/28
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 福建省福州市鼓楼区*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 桌面 扫描 电子显微镜
【权利要求书】:

1.一种桌面型扫描电子显微镜,其结构包括电子枪(1)、聚光镜一(2)、电子探头(3)、样品室(4)、底座(5)、拉杆(6)、物镜(7)、电源线(8)、聚光镜二(9),所述样品室(4)为中空箱体结构,采用半开放式结构,所述样品室(4)上板一体成型设有圆孔,其特征在于:

所述样品室(4)前侧设有进料口,内腔设有电子探头(3),所述电子探头(3)上端设有电源线(8),采用通电连接方式,所述聚光镜一(2)上方位置设有电子枪(1),采用内置方式呈上下安装结构,所述聚光镜二(9)位于样品室(4)上方位置,所述样品室(4)框架表面上方设有聚光镜一(2),所述聚光镜一(2)始终位于电子探头(3)上方位置,采用隔物安装呈分设排列方式,所述样品室(4)下侧位于底座(5)表面凹槽,所述底座(5)侧边设有对应拉杆(6);

所述拉杆(6)由固定架(601)、下杆(602)、限位板(603)、折叠杆(604)、把件(605)、弹簧按钮(606)组成,所述固定架(601)内槽与下杆(602)采用插入连接方式固定,所述下杆(602)上端位置设有限位板(603),所述限位板(603)凹槽与折叠杆(604)下端相嵌合,所述折叠杆(604)上端与把件(605)连接且构成“∏”形结构,所述把件(605)上端位置设有弹簧按钮(606),所述固定架(601)位于底座(5)对应侧边位置上。

2.根据权利要求1所述的一种桌面型扫描电子显微镜,其特征在于:所述电源线(8)上方位置设有聚光镜二(9)。

3.根据权利要求1所述的一种桌面型扫描电子显微镜,其特征在于:所述电子枪(1)位于聚光镜二(9)上方位置。

4.根据权利要求1所述的一种桌面型扫描电子显微镜,其特征在于:所述物镜(7)与电源线(8)相连接,呈上下结构。

5.根据权利要求1所述的一种桌面型扫描电子显微镜,其特征在于:所述聚光镜二(9)位于物镜(7)上方位置。

6.根据权利要求1所述的一种桌面型扫描电子显微镜,其特征在于:所述聚光镜一(2)设在聚光镜二(9)上方位置。

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