[发明专利]氧化锌/氧化镓核壳微米线及其制备方法、日盲紫外探测器在审
| 申请号： | 201711260195.3 | 申请日： | 2017-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN107978657A | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 王飞;赵斌;王云鹏;赵东旭 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0296;H01L31/032;H01L31/0352;H01L31/102 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 张雪娇,赵青朵 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化锌 氧化 镓核壳 微米 及其 制备 方法 紫外 探测器 | ||
1.一种氧化锌/氧化镓核壳微米线的制备方法，其特征在于，包括：
S1)将氧化锌、氧化镓与碳混合研磨，得到混合粉末；
S2)以所述混合粉末为原料，在设置有氧化锌籽晶层的衬底上进行第一次化学气相沉积，生长氧化锌微米线；然后继续升温，进行第二次化学气相沉积，在氧化锌微米线上生长氧化镓，得到氧化锌/氧化镓核壳微米线。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氧化锌、氧化镓与碳的质量比为1：(0.05～0.5)：(0.8～1.5)。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氧化锌籽晶层的厚度为50～200nm。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一次化学气相沉积的升温速度为20℃/min～30℃/min；所述第一次化学气相沉积的温度为900℃～1000℃；所述第一次化学气相沉积的时间为8～15min。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第二次化学气相沉积的升温速度为5℃/min～15℃/min；所述第二次化学气相沉积的温度为1100℃～1200℃；所述第二次化学气相沉积的时间为30～50min。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一次化学气相沉积与第二次化学沉积均在通入保护气体中进行；所述保护气体为氩气。
7.权利要求1～6任意一项所制备的氧化锌/氧化镓核壳微米线，其特征在于，包括核层与壳层；所述核层为氧化锌微米线；所述壳层为β-氧化镓单晶薄膜。
8.根据权利要求7所述的氧化锌/氧化镓核壳微米线，其特征在于，所述核层的厚度为5～10μm；所述壳层的厚度为200～900nm。
9.一种日盲紫外探测器，其特征在于，包括权利要求1～6任意一项所制备的氧化锌/氧化镓核壳微米线。
10.根据权利要求9所述的日盲紫外探测器，其特征在于，包括：
权利要求1～6任意一项所制备的氧化锌/氧化镓核壳微米线；
与所述氧化锌/氧化镓核壳微米线氧化锌核层相连的第一金属电极；
与所述氧化锌/氧化镓核壳微米线氧化镓壳层相连的第二金属电极。
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