[发明专利]一种高性能抛光液及其制备方法

权利要求书

1.一种高性能抛光液，其特征在于，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料10-20份、研磨料分散剂8-15份、氧化剂2-5份、防锈剂6-12份、螯合剂7-15份、表面活性剂4-8份、缓蚀剂6-13份、润湿剂4-9份、水20-50份；

所述研磨料为二氧化硅、氧化铝、二氧化钛、纳米氧化锌、氧化石墨烯的任意一种及以上组合；

所述研磨料分散剂为淀粉、壳聚糖、糊精、聚乙烯醇或羧甲基纤维素的任意一种及以上组合；

所述氧化剂为过氧化氢、过硫酸铵、重铬酸钾、高碘酸钾、高氯酸钾中的任意一种及以上组合；

所述防锈剂为硬脂酸、油酸、硬脂酸环己胺、油酸十八烷胺、单油酸季戊四醇酯、山梨糖醇酐单油酸酯中的任意一种及以上组合；

所述螯合剂为乙二胺四乙酸二钠盐、氨基三乙酸、葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸、聚丙烯酸或聚甲基丙烯酸中的任意一种及以上组合；

所述表面活性剂为十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、磷脂酰乙醇胺、聚氧乙烯-聚氧丙烯共聚物、聚乙烯吡咯烷酮中的任意一种及以上组合；

所述缓蚀剂为磺化木质素、聚天冬氨酸、膦酰基羧酸共聚物、十六烷基胺中的任意一种及以上组合；

所述润湿剂为乙醇、十二烷醇、甲醇、丙二醇、二甲基亚砜中的任意一种及以上组合。

2.根据权利要求1所述的一种高性能抛光液，其特征在于，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料10-20份、研磨料分散剂8-15份、氧化剂2-5份、防锈剂6-12份、螯合剂7-15份、表面活性剂4-8份、缓蚀剂6-13份、润湿剂4-9份、水20-50份；

所述研磨料为二氧化硅、氧化铝、氧化石墨烯；

所述研磨料分散剂为壳聚糖、糊精和羧甲基纤维素；

所述氧化剂为过氧化氢、重铬酸钾和高氯酸钾；

所述防锈剂为硬脂酸、油酸、单油酸季戊四醇酯和山梨糖醇酐单油酸酯；

所述螯合剂为葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸和聚甲基丙烯酸；

所述表面活性剂为十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、和聚乙烯吡咯烷酮中；

所述缓蚀剂为磺化木质素和聚天冬氨酸；

所述润湿剂为十二烷醇、丙二醇和二甲基亚砜。

3.根据权利要求2所述的一种高性能抛光液，其特征在于，所述抛光液由以下重量份的原料制备而成，研磨料15份、研磨料分散剂11份、氧化剂3份、防锈剂9份、螯合剂11份、表面活性剂6份、缓蚀剂10份、润湿剂6份、水40份；

所述研磨料为等重量份的二氧化硅、氧化铝、氧化石墨烯；

所述研磨料分散剂为等重量份的壳聚糖、糊精和羧甲基纤维素；

所述氧化剂为等重量份的过氧化氢、重铬酸钾和高氯酸钾；

所述防锈剂为等重量份的硬脂酸、单油酸季戊四醇酯和山梨糖醇酐单油酸酯；

所述螯合剂为等重量份的葡萄糖酸钠、柠檬酸铵、羟基乙酸和聚甲基丙烯酸；

所述表面活性剂为等重量份的十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、和聚乙烯吡咯烷酮中；

所述缓蚀剂为等重量份的磺化木质素和聚天冬氨酸；

所述润湿剂为等重量份的十二烷醇、丙二醇和二甲基亚砜。

4.权利要求1所述的一种高性能抛光液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）将研磨料与所述表面活性剂混合，将其加热至40-50℃研磨20-40min；将研磨料分散剂用水配置成质量浓度为15-30wt%研磨料分散剂溶液，然后将研磨料加入到研磨料分散剂溶液中，于30-50℃的温度下以500-800r/min的转速搅拌20-30min得混合料A；

（2）将剩余原料混合，在45-55℃的温度下搅拌均匀，保温3-5h得混合料B；

（3）在搅拌的状态下将混合料A缓慢加入到混合料B中，使用pH碱性调节剂将混合液的pH调节到7.4-9.0，继续搅拌1-3h，冷却至室温即得。

5.根据权利要求4所述的一种高性能抛光液的制备方法，其特征在于，所述碱性pH调节剂为三乙醇胺、氨水、氢氧化钙、碳酸氢钠或磷酸氢二钠。

6.根据权利要求4所述的一种高性能抛光液的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中研磨料与所述表面活性剂在45℃下研磨30min。

7.根据权利要求4所述的一种高性能抛光液的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中制得混合料B的反应温度为50℃。

8.根据权利要求4所述的一种高性能抛光液的制备方法，其特征在于，所述步骤（3）中使用pH碱性调节剂将混合液的pH调节到8.0。