[发明专利]柔性显示器件及其制备方法

说明书

本发明公开了一种柔性显示器件及其制备方法，所述制备方法通过引入第一金属柱以增加器件的耐弯性能，以及设置第一有机柱和第二有机柱以减小无机膜层之间的应力差异所引起的薄膜脱落现象，从而在提高柔性显示器件的稳定性的同时也提高该器件的良率。

技术领域

本发明涉及液晶显示面板技术领域，尤其涉及一种柔性显示器件及其制备方法。

背景技术

柔性显示器件具有轻、薄、可挠曲、耐冲击、超高防水性能等优点，在可穿戴设备及一些特殊功能显示领域有非常广泛的应用。目前，制备柔性器件的技术中，主要是将柔性基板装配在刚性的玻璃基板等载板上，然后在柔性基板上制备显示器元件，最后再将柔性基板与载板分离，进而得到柔性器件。在柔性器件制备过程中，主流的柔性显示器件都采用的LTPS(low temperature poly-silion低温多晶硅)技术。传统的LTPS结构中还有很多无机膜层，无机膜层之间薄膜应力的差异会导致薄膜的脱落和基板的翘曲，进而影响使用寿命以及稳定性，同时厚厚的有机膜层经过无数次的弯曲之后容易形成裂纹，进而破坏器件结构。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种柔性显示器件及其制备方法，所述制备方法通过引入第一金属柱以增加器件的耐弯性能，以及设置第一有机柱和第二有机柱以减小无机膜层之间的应力差异所引起的薄膜脱落现象，从而提高器件的稳定性的同时也提高了器件的良率。

为了实现上述目的，本发明提供了一种柔性显示器件，其包括：一柔性塑料基板，在所述柔性塑料基板上依次设置第一栅极绝缘层、第二栅极绝缘层、第一内层介电层和第二内层介电层；在所述第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层中设置有一第一金属柱，所述第一金属柱是由金属材料而形成的；，第一金属柱为由填充金属材料的第一刻蚀孔而形成，其中通过采用第一光罩制程在第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层中形成第一刻蚀孔和第二刻蚀孔，在所述第一光罩上且对应第一刻蚀孔位置的孔径的设计值设置为小于所述第一刻蚀孔的实际需求值，并且以对第二刻蚀孔曝光能量为衡量标准的方式对第一刻蚀孔进行曝光；在所述第一内层介电层中设置有一第一有机柱，所述第一有机柱是由有机材料而形成的；在第一栅极绝缘层、第二栅极绝缘层和第一内层介电层中设置有一第二有机柱，所述第二有机柱是由有机材料而形成的；其中，所述第一金属柱、第一有机柱和第二有机柱用于改善所述柔性显示器的薄膜应力。

另外，本发明还提供一种柔性显示器件的制备方法，其包括以下步骤：(1)在一柔性塑料基板上依次设置第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层；(2)采用第一光罩制程，在第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层中形成第一刻蚀孔和第二刻蚀孔，其中将在所述第一光罩上且对应第一刻蚀孔位置的孔径的设计值设置为小于所述第一刻蚀孔的实际需求值，并且以对第二刻蚀孔曝光能量为衡量标准的方式对第一刻蚀孔进行曝光；(3)在第一刻蚀孔内填充金属材料以形成第一金属柱；(4)在第二栅极绝缘层上设置第一内层介电层；(5)采用第二光罩制程，在第一内层介电层中形成第三刻蚀孔，并在第一栅极绝缘层、第二栅极绝缘层和第一内层介电层中形成第四刻蚀孔；(6)在第三刻蚀孔内填充有机材料以形成第一有机柱，且在第四刻蚀孔内填充有机材料以形成为第二有机柱。

在本发明的一实施例中，在步骤(2)中所使用的第一光罩与在步骤(5)中所使用的第二光罩为相同。

在本发明的一实施例中，在步骤(2)中，通过控制刻蚀速率和时间，使得所述第一刻蚀孔的深度小于第一栅极绝缘层的厚度与第二栅极绝缘层的厚度之和。

在本发明的一实施例中，在步骤(3)中，采用物理气相沉积方法，在第二栅极绝缘层上沉积一金属层，以使得第一刻蚀孔内填充金属材料。

在本发明的一实施例中，当第二栅极绝缘层上沉积一金属层时，在第二刻蚀孔内也填充金属材料；对所述金属层进行图案化，以去除第二刻蚀孔内所填充的金属材料。

在本发明的一实施例中，在步骤(5)中，通过控制刻蚀速率和时间，使得所述第三刻蚀孔贯穿所述第一内层介电层。