[发明专利]一种减压扩散炉尾气冷却装置

说明书

本发明公开了一种减压扩散炉尾气冷却装置，包括进气管、石英冷凝瓶、冷凝瓶套组件、进气端盖、抽气端盖、抽气管和冷却系统，石英冷凝瓶位于冷凝瓶套组件内，两端分别通过进气端盖和抽气端盖密封，石英冷凝瓶包括第一腔室、第二腔室和第三腔室，第二腔室套于第一腔室和第三腔室外部，第一腔室与第二腔室连通，第二腔室与第三腔室连通，进气管穿过进气端盖伸入第一腔室内，抽气管穿过抽气端盖伸入第三腔室内，进气管的气流方向与第一腔室内的气流方向相反，抽气管的气流方向与第三腔室内的气流方向相反，冷却系统包括分设于第二腔室和第三腔室内的第一冷却部件和第二冷却部件。本发明可使尾气在小空间内长距离运动，增加尾气与冷却部件的接触面积。

技术领域

本发明涉及减压扩散炉尾气处理领域，尤其涉及一种减压扩散炉尾气冷却装置。

背景技术

现阶段低压扩散炉正常工作时均配备有真空泵，为了防止低压扩散炉工作时炉管内产生的高温氯气、偏磷酸蒸汽等腐蚀性气体直接进入真空泵中而影响真空泵的使用寿命，需要在石英管排废口与真空泵之间设置冷凝装置。采用此装置时，一方面可以降低进入真空泵的尾气温度，保证真空泵正常工作；另一方面，此装置还可以使扩散工艺时产生的各种腐蚀性气体冷凝成液态并暂时储存在冷凝装置内，防止这些气体进入真空泵而损伤泵体。

现有技术中，冷却系统中较多采用直通式金属水冷冷凝瓶和石英风冷冷凝瓶。直通式金属水冷冷凝瓶为了增加尾气与冷凝瓶的接触面积采用增加冷凝管长度的方式，此类冷凝瓶有体积较大、安装困难的缺点，在工作和维护中会给操作人员带来诸多不便。石英风冷冷凝瓶直接将石英冷凝瓶裸露，利用空气对流将热量抽入排废管，该装置冷却效果差，同时石英冷凝瓶已损坏。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种可以使尾气在小空间长距离的运动、大大增加了尾气与冷却部件的接触面积的减压扩散炉尾气冷却装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种减压扩散炉尾气冷却装置，包括进气管、石英冷凝瓶、冷凝瓶套组件、进气端盖、抽气端盖、抽气管和冷却系统，所述石英冷凝瓶位于冷凝瓶套组件内，两端分别通过进气端盖和抽气端盖密封，所述石英冷凝瓶包括相互隔开的第一腔室、第二腔室和第三腔室，所述第一腔室与第三腔室沿着进气方向依次设置，所述第二腔室套于第一腔室和第三腔室外部，所述第一腔室设有与第二腔室连通的第一连通孔，所述第二腔室设有与第三腔室连通的第二连通孔，所述进气管穿过进气端盖伸入第一腔室内，所述抽气管穿过抽气端盖伸入第三腔室内，所述进气管内的气流方向与第一腔室内的气流方向相反，所述第一腔室与第三腔室内的气流方向相同，所述第二腔室内的气流方向与第三腔室内的气流方向相反，所述抽气管的气流方向与第三腔室内的气流方向相反，所述冷却系统包括第一冷却部件和第二冷却部件，所述第一冷却部件和第二冷却部件分别设于第二腔室和第三腔室内。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述进气端盖与进气管之间设有密封组件，所述密封组件包括公接头、母接头、第一全氟密封圈和第一密封圈挡环，所述公接头装设于进气端盖上，所述母接头插入公接头内，且与公接头螺纹配合，所述进气管依次穿过母接头、公接头和进气端盖伸入第一腔室内，所述公接头内壁、母接头位于公接头内的端面及进气管外壁之间具有密封空腔，所述第一密封圈挡环和第一全氟密封圈设于所述密封空腔内，且第一密封圈挡环靠近母接头位于公接头内的端面，第一密封圈挡环表面具有全氟涂层。

所述第一冷却部件为套于第一腔室和第三腔室外部的第一螺旋冷却水管，所述第一螺旋冷却水管的进口端和出口端均贯穿于抽气端盖上；所述第二冷却部件为套于抽气管外部的第二螺旋冷却水管，所述第二螺旋冷却水管的进口端和出口端均贯穿于抽气端盖上。

所述进气端盖与石英冷凝瓶之间设有第一固定块，所述抽气端盖与石英冷凝瓶之间设有第二固定块，所述第二固定块上分别设有可供第一螺旋冷却水管和第二螺旋冷却水管穿过的第一避让孔和第二避让孔，所述第一固定块和第二固定块由耐腐蚀的聚四氟乙烯材料加工而成。