[发明专利]悬吊式运输系统

说明书

一种悬吊式运输系统，包括：一对行车轨道，设置在半导体生产线的顶板；载运工具，用于保持匣盒并沿着行车轨道移动，该载运工具包括一对驱动轮以及辅助轮，一对驱动轮被配置成与行车轨道旋转接触，辅助轮具有倾斜的桨轮；以及辅助轨道，用于在行车轨道的弯曲路径上支承辅助轮，该辅助轨道包括倾斜的上端面，该倾斜的上端面具有与所述桨轮的端面相对应的倾斜角度，由此在驱动轮沿着弯曲路径移动的同时补偿各个驱动轮的内侧线速度与外侧线速度之间的差异。

技术领域

本发明的实施方式是关于一种悬吊式运输系统。具体来说，本发明的示例性实施方式是关于一种用于运输匣盒的用在半导体生产线的悬吊式运输系统，其中，在匣盒中贮存有多个晶片，在半导体生产线中半导体处理设备被布置成直列型。

背景技术

一般来说，用于制造半导体器件的半导体处理设备被连续排列以对半导体基板执行各种处理。在匣盒中贮存有多个晶片的状态下，被执行半导体制造工艺的晶片可被提供至各个半导体处理设备，或者可使用匣盒从各个半导体处理设备收回晶片。

匣盒通过悬吊式运输系统(在下文中称为“OHT”)来运输，悬吊式运输系统包括行车轨道和载运工具，载运工具能够保持匣盒并沿着行车轨道行进。而且，OHT系统包括转向轨道、与行车轨道旋转接触的行车轨道、以及与转向轨道旋转接触的转向轮，其中，转向轨道设置在半导体生产线的顶板，半导体处理设备连续排列在半导体生产线中。

被提供在载运工具上的转向轮沿着转向轨道旋转，由此能够在分支区域调整载运工具的移动方向，其中，转向轨道在分支区域从行车轨道分支出来。

当驱动轮沿着行车轨道的弯曲路径移动时，驱动轮可能会具有与外侧线速度不同的内侧线速度。由于内侧线速度与外侧线速度之间的差异，驱动轮可能无法顺畅地沿着行车轨道滚动而滑动。因此，在驱动轮与行车轨道之间可能会产生摩擦力，从而造成微粒产生。其结果，微粒可能会污染半导体处理设备所具有的空隙。

发明内容

本发明的示例性实施方式提供一种OHT系统，其能够减少可能会因驱动轮与行车轨道之间的摩擦力而产生的微粒的量。根据本发明的一方案，提供了一种OHT系统。该OHT系统包括：一对行车轨道，设置在半导体生产线的顶板；载运工具，用于保持匣盒并沿着行车轨道移动，该载运工具包括一对驱动轮以及辅助轮，一对驱动轮被配置成与行车轨道旋转接触，辅助轮具有倾斜的桨轮；以及辅助轨道，用于在行车轨道的弯曲路径上支承辅助轮，该辅助轨道包括倾斜的上端面，该倾斜的上端面具有与桨轮的端面相对应的倾斜角度，由此在驱动轮在弯曲路径上行进的同时补偿各个驱动轮的内侧线速度与外侧线速度之间的差异。

在一示例性实施方式中，桨轮可向外朝着辅助轮的中心轴线倾斜。

根据一示例性实施方式，该OHT系统可进一步包括：导轨，被定位成沿着行车轨道且在行车轨道上方，该导轨用于引导载运工具的行进和转向；以及导轮，设置在载运工具的上端面，该导轮被配置成与导轨旋转接触来引导载运工具的行进和转向。

在一示例性实施方式中，对桨轮的倾斜角度和辅助轨道的倾斜的上端面的倾斜角度根据行车轨道中的弯曲路径的曲率半径进行相应调整。

在此，桨轮的倾斜角度和倾斜的上端面的倾斜角度可与行车轨道中的弯曲路径的曲率半径成反比。

在一示例性实施方式中，辅助轮的倾斜的端面可具有与桨轮的端面基本相同的倾斜角度。

据此，本发明的OHT系统包括辅助轮以及辅助轨道，其中辅助轮具有倾斜的桨轮，辅助轨道包括具有与桨轮的端面相同的倾斜角度的倾斜的上端面，由此在驱动轮沿着弯曲路径移动的同时补偿各个驱动轮的内侧线速度与外侧线速度之间的差异。如此，当沿着行车轨道的弯曲路径移动时，可使载运工具中的车轮的接触摩擦减至最小。据此，能够减少车轮的磨损，提高车轮的耐用性，增长车轮和轨道的保养周期，并且提高半导体处理设备所具有的空隙的清洁度。