[发明专利]无油空气用量降低的芯片测试系统及其方法

权利要求书

1.一种芯片测试系统(10)，包括：

测试室(11)，所述测试室设置有门(111)；

位于所述测试室内的测试头(12)，所述测试头(12)用于在芯片(123)测试期间与所述芯片(123)接触以向所述芯片(123)提供与热测试和冷测试相对应的温度；

冷却液管路(13)，所述冷却液管路用于向所述测试头(12)提供冷却液以调节所述测试头(12)所提供给所述芯片(123)的温度；

无油空气压缩机(14)，所述无油空气压缩机(14)用于生成无油空气并且通过管道将所生成的无油空气吹送到所述测试室(11)内；以及

控制单元(15)，所述控制单元(15)被配置为确定测试阶段处于热测试阶段还是冷测试阶段，并且所述控制单元(15)还被配置为基于所确定的测试阶段来控制所述测试室(11)的门(111)的开或关以及控制所述无油空气压缩机(14)是否向所述测试室内吹送无油空气，

其中：如果所确定的测试阶段处于热测试阶段，所述控制单元(15)开启所述测试室的门(111)并且控制所述无油空气压缩机(14)不向所述测试室内吹送无油空气；并且如果所确定的测试阶段处于冷测试阶段，所述控制单元(15)关闭所述测试室的门(111)并且控制所述无油空气压缩机(14)向所述测试室内吹送无油空气，

其中所述芯片测试系统还包括设置在所述冷却液管路(13)处的用于检测所述冷却液的温度的温度传感器(S1)，其中所述控制单元(15)被配置为基于所述温度传感器(S1)所检测的所述冷却液的温度来确定测试阶段处于热测试阶段还是冷测试阶段。

2.根据权利要求1所述的芯片测试系统(10)，其中，控制所述无油空气压缩机(14)不向所述测试室内吹送无油空气包括关闭所述无油控制压缩机(14)或者关闭所述管道。

3.根据权利要求1-2中任一项所述的芯片测试系统(10)，进一步包括：

设置在所述管道出口处的无油空气传感器(S2)，用于检测所述无油空气压缩机(14)是否向所述测试室内吹送无油空气；以及

设置在所述门(111)上的门开关状态传感器(S3)，用于检测所述门(111)的开关状态。

4.根据权利要求3所述的芯片测试系统(10)，其中：

所述控制单元(15)进一步基于所述温度传感器(S1)检测的冷却液的温度、所述无油空气传感器(S2)检测的所述无油空气的吹送状态、以及所述门开关传感器(S3)检测的门(111)的开关状态来判断所述芯片测试系统(10)是否正常工作。

5.根据权利要求4所述的芯片测试系统(10)，其中：

所述芯片测试系统(10)还包括警报器，用于在所述控制单元(15)判断所述芯片测试系统(10)工作不正常时向所述芯片测试系统(10)的操作者发出警报。

6.根据权利要求1所述的芯片测试系统(10)，其中：

所述门(111)连接到气缸，并且所述控制单元(15)通过控制所述气缸的运动来实现所述门(111)的开或关。

7.根据权利要求1所述的芯片测试系统(10)，其中，所述控制单元(15)基于所述温度传感器(S1)所检测的所述冷却液的温度来确定测试阶段处于热测试阶段还是冷测试阶段包括：

如果所检测的所述冷却液的温度小于第一阈值，则所述控制单元(15)确定测试阶段处于冷测试阶段；

如果所检测的所述冷却液的温度大于第二阈值，则所述控制单元(15)确定测试阶段处于热测试阶段，

其中所述第一阈值小于或者等于所述第二阈值。

8.根据权利要求7所述的芯片测试系统(10)，其中：

所述冷却液管路(13)处设置的温度传感器(S1)的数量是两个，并且

在两个温度传感器(S1)检测的温度都小于所述第一阈值时，所述控制单元(15)确定测试阶段处于冷测试阶段，以及

在所述两个温度传感器(S1)检测的温度都大于第二阈值时，所述控制单元(15)确定测试阶段处于热测试阶段。