[发明专利]麦克风及其制造方法

说明书

本公开提供了一种麦克风及其制造方法。麦克风包括：固定膜，设置在基底上；隔膜，与固定膜间隔开，其中，空气层位于固定膜与隔膜之间；支撑层，被构造成将隔膜支撑在固定膜上；以及阻尼孔，被构造成使空气层中的空气流动到支撑层的非感测区域。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2017年5月19日提交的韩国专利申请第10-2017-0062453号的优先权和权益，其全部内容通过引用结合于此。

技术领域

本公开涉及一种麦克风及其制造方法，并且更具体地，涉及一种能够在简化过程的同时提高灵敏度的高灵敏度微电子机械系统(MEMS)麦克风。

背景技术

本部分的陈述仅提供与本公开有关的背景信息，并且可能不构成现有技术。

一般而言，微电子机械系统(MEMS)麦克风是将音频信号转换成电信号的装置，并且MEMS麦克风由半导体批量过程制造。

与应用于大多数车辆的驻极体电容麦克风(ECM)相比，MEMS麦克风具有出色的灵敏度和低的产品性能变化。而且，其可以被微型化并且耐受诸如热量、湿度等的环境的变化。因此，近来，MEMS麦克风的发展正在逐渐取代ECM。

为了增加作为MEMS麦克风的一个最重要的性能指标的灵敏度，已经进行了对刚度的减小或感测区域的最大化的研究。

图1是示意性地示出了传统商用MEMS麦克风的结构的截面图。

参考图1，传统的MEMS麦克风具有隔膜2和固定膜3以规则间隔形成在基底1上并且牺牲层4支撑在其之间的结构。在固定膜中形成有用于进气的固定膜3的多个孔3h，并且在隔膜2与固定膜之间形成有空气层5。由通过基底孔1h输入的声压而振动的隔膜2的振动位移由固定膜3感测。

固定膜孔3h用作用于去除固定膜3与隔膜2之间的牺牲层4的路径。固定膜孔3h用于减小当隔膜2由声压振动时的空气阻尼。

空气阻尼意味着隔膜2的振动被空气及其压力吸收，并且振动位移被抑制。这被称为由于振动位移的抑制而发生的灵敏度劣化的空气阻尼效应。

然而，在传统技术中，当固定膜孔3h的数量增加时，感测区域减小，以便减小固定膜3的空气阻尼。因此，灵敏度降低。

因此，可以期望可以提高灵敏度的新概念结构。

在韩国专利公开第10-2014-0028467号中进一步公开了相关信息。

发明内容

本公开提供了一种能够降低空气阻尼并提高灵敏度的麦克风及其制造方法。为了增加固定膜的感测区域，省略了固定膜的孔。用于减小空气阻尼的阻尼孔也形成在隔膜外部，以将阻尼孔连接到固定膜与隔膜之间的振动空间。

在本公开的一些形式中，可以提供一种麦克风，其包括：固定膜，设置在基底上；隔膜，与固定膜间隔开，其中，空气层位于固定膜与隔膜之间；支撑层，被构造成将隔膜支撑在固定膜上；以及阻尼孔，被构造成使空气层中的空气流动到支撑层的非感测区域。

阻尼孔可以从隔膜的中心以规则间隔步骤在支撑层的非感测区域中。

阻尼孔可以包括：通孔，被构造成竖直地穿透支撑层的非感测区域；以及连接通道，被构造成将通孔的下部连接到沿水平方向布置的空气层。

连接通道可以包括具有细狭缝结构的多个通孔。

通孔可以从隔膜的中心步骤成多行。

所述连接通道可以由以下步骤形成：在基底和固定膜的上表面的部分上形成牺牲图案；并且在牺牲图案上形成通孔之后，通过通孔去除牺牲图案。

牺牲图案可以通过在基底的上表面的部分上图案化光致抗蚀剂而形成。