[发明专利]成像器件有效
申请号: | 201711200024.1 | 申请日: | 2017-11-27 |
公开(公告)号: | CN108122937B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 关根宽;大贯裕介;小林昌弘 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 杨小明 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 成像 器件 | ||
提供一种成像器件,该成像器件包括:基板;在基板上以二维方式布置像素的像素阵列,各像素包括蓄积从入射光产生的电荷的光电转换单元、保持从光电转换单元传送的电荷的电荷保持单元和接收从电荷保持单元传送的电荷的放大单元;和被布置为至少覆盖电荷保持单元的遮光部分。在与基板正交的俯视图中,各像素的光电转换单元和电荷保持单元沿第一方向对准。在俯视图中,相邻像素的电荷保持单元沿与第一方向相交的第二方向对准。遮光部分沿第二方向且在电荷保持单元之上延伸,并且覆盖电荷保持单元之间的区域。
技术领域
本发明涉及成像器件。
背景技术
近年,允许低功耗和快速读出的CMOS图像传感器被广泛用作用于诸如数字静态照相机或数字视频摄像机等的成像系统的成像器件。作为成像器件中的读出方法,已提出所有像素具有共同的电荷蓄积开始时间和结束时间的全局电子快门。
在日本专利申请公开No.2009-272374所公开的成像器件的各像素内,除了执行光电转换的光电转换单元以外,为了实现全局电子快门的功能,还设置将由光电转换单元产生的电荷保持预定时段的电荷保持单元。当光入射到电荷保持单元时,由电荷保持单元光电转换的电荷形成错误信号,这会导致图像质量的劣化。因此,覆盖电荷保持单元的遮光部分被设置在日本专利申请公开No.2009-272374的成像器件中。
在日本专利申请公开No.2009-272374的技术中,遮光部分的开口的多个边缘在俯视图中被布置为接近电荷保持单元的端部,这会导致遮光不足。因此,入射到电荷保持单元的光会导致错误信号,该错误信号导致图像质量的劣化。
发明内容
本发明意欲提供减少由于错误信号导致的图像质量劣化的成像器件。
根据本发明的一个实施例,提供一种成像器件,该成像器件包括:基板;像素阵列,在像素阵列中,多个像素以二维方式布置在基板上,其中,所述像素中的每一个包括被配置为蓄积从入射光产生的电荷的光电转换单元、被配置为保持从光电转换单元传送的电荷的电荷保持单元和具有接收从电荷保持单元传送的电荷的输入节点的放大单元;以及,遮光部分,被布置为至少覆盖电荷保持单元。在与基板正交的方向的俯视图中,包含于所述像素中的一个中的光电转换单元和电荷保持单元沿第一方向对准。在俯视图中,所述像素中的相互邻近的多个的多个电荷保持单元沿与第一方向相交的第二方向对准。遮光部分沿第二方向且在多个电荷保持单元之上延伸,并且覆盖多个电荷保持单元之间的区域。
根据本发明,可以提供减少由于错误信号导致的图像质量劣化的成像器件。
从参照附图对示例性实施例的以下描述,本发明的其它特征将变得清晰。
附图说明
图1是根据本发明的第一实施例的成像器件的框图。
图2是根据本发明的第一实施例的成像器件中的像素的等价电路图。
图3A和图3B是根据本发明的第一实施例的成像器件中的像素的平面图。
图4是根据本发明的第一实施例的成像器件中的像素的平面图。
图5是根据本发明的第一实施例的成像器件中的像素的截面图。
图6A和图6B是根据本发明的第二实施例的成像器件中的像素的平面图。
图7A和图7B是根据本发明的第三实施例的成像器件中的像素的平面图。
图8A和图8B是根据本发明的第四实施例的成像器件中的像素的平面图。
图9是根据本发明的第五实施例的成像系统的框图。
图10A和图10B是根据本发明的第六实施例的成像系统和移动装置的框图。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的