[发明专利]一种太阳能电池的制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下过程：

(1)对硅片进行清洗、去损和制绒工艺；

(2)对硅片的背光面进行抛光处理，对的硅片的受光面进行离子注入；

(3)对硅片的背光面进行硼扩散；所述硼扩散采用三溴化硼液态源扩散法，先在900-1000℃下通氧沉积三溴化硼20-60分钟，之后不通源在氧气氛下推进10-60分钟，然后降温到800-900℃氧化至少30分钟，在硅片的背光面生长氧化层；所述氧化层的厚度至少为20纳米；

(4)在硅片的背光面形成钝化层，在硅片的受光面形成减反膜；

(5)在硅片的背光面印刷铝电极，在受光面印刷银电极；将所述铝电极和银电极进行共烧结，以形成金属化接触。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述硅片包括单晶硅片和多晶硅片。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述在硅片的背光面形成钝化层，在硅片的受光面形成减反膜，包括：

在硅片的表面形成氧化硅钝化层；

在硅片的背光面形成氧化铝钝化层；

在硅片的背光面形成氮化硅钝化层；

在硅片的受光面形成氮化硅减反膜。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述离子注入的元素为磷元素。