[发明专利]一种基于MEMS传感器的惯性测量组合的装配体结构

权利要求书

1.一种基于MEMS传感器的惯性测量组合的装配体结构，其特征在于，包括MEMS加速度计电路板、MEMS陀螺仪电路板、陀螺仪AD信号处理电路板和基座，基座为传感器提供三轴正交安装的基准及陀螺仪AD信号处理电路板安装空间，MEMS加速度计电路板为X、Y、Z三轴正交设置的单轴MEMS加速度计电路板，感应并输出组合的线加速度模拟信号及加速度计温度模拟信号，MEMS陀螺仪电路板为X、Y、Z三轴正交设置的单轴MEMS陀螺仪电路板，感应并输出组合的角速率模拟信号及陀螺仪温度模拟信号，陀螺仪AD信号处理电路板为MEMS陀螺仪电路板供电，同时实时采集角速率模拟信号及陀螺仪温度模拟信号，并将模拟信号转换成数字量信号后对外输出；

陀螺仪AD信号处理电路板通过24位AD芯片ADS1256实时采集3个单轴MEMS陀螺仪的角速率模拟信号及温度模拟信号，转换后的数字量信号通过SPI串口对外输出；基座底部的圆形空腔内安装陀螺仪AD信号处理电路板，基座底部上侧留有走线槽，陀螺仪AD信号处理电路板的导线经过走线槽与外部电路连接，基座与外界进行机械连接；

结构设计了三个走线槽，有三个走线路径，其中三个MEMS陀螺仪传感器电路板的线缆在基座的上凹面贴左内边走线布置，最终归为一束第一线束从第一走线槽走出，第一线束分为两股A股与B股，A股经第三走线槽与基座底部的陀螺仪AD信号处理电路板进行连接，AD信号处理后形成线束B‘，用于输出数字信号参数，B与B‘两股线形成第三线束；B‘线束引出后与A股线进行绑扎成型，对外输出MEMS陀螺仪数字参数；三个MEMS加速度计传感器电路板的线缆在基座的上凹面贴右内边走线布置，最终归为一束第二线束从第二走线槽走出绑扎一束，对外输出MEMS加速度计参数；

结构共含7块电路板，其中三个加速度计电路板、三个陀螺仪电路板以及一个陀螺仪AD信号处理电路板，在进行传感器标定测试前，将电子元器件焊接到电路板，然后将传感器电路板固定在基座上并用预先留有余量的线缆依次进行焊接连接，最终形成加速度计电路板组件和陀螺仪电路板组件。

2.如权利要求1所述的一种基于MEMS传感器的惯性测量组合的装配体结构，其特征在于，MEMS陀螺仪电路板安装平面的垂直度误差在20μm以内。

3.如权利要求1所述的一种基于MEMS传感器的惯性测量组合的装配体结构，其特征在于，三个MEMS加速度计电路板的外形尺寸及安装尺寸一致，MEMS加速度计电路板安装平面相互之间的垂直度误差在20μm以内。

4.如权利要求1所述的一种基于MEMS传感器的惯性测量组合的装配体结构，其特征在于，同一轴向MEMS加速度计电路板和MEMS陀螺仪电路板的平行度误差在20μm以内。

5.如权利要求1所述的一种基于MEMS传感器的惯性测量组合的装配体结构，其特征在于，基座表面进行黑色瓷质氧极化处理。