[发明专利]基于飞秒激光实现透明导电氧化物起偏和检偏的方法

权利要求书

1.一种基于飞秒激光实现透明导电氧化物起偏和检偏的方法，其特征在于：

将透明导电氧化物镀在需要起偏和检偏的光电器件上，然后利用飞秒激光加工系统在光电器件表面加工出大面积、一致性的表面周期性的透明导电氧化物光栅结构。

2.根据权利要求1所述的一种基于飞秒激光实现透明导电氧化物起偏和检偏的方法，其特征在于：所述透明导电氧化物为掺铝氧化锌。

3.根据权利要求1所述的一种基于飞秒激光实现透明导电氧化物起偏和检偏的方法，其特征在于：通过控制所述透明导电氧化物的厚度调整起偏和检偏的效果，厚度越厚，对入射光的作用效果越强，厚度越薄，对入射光的作用效果越弱。

4.根据权利要求1所述的一种基于飞秒激光实现透明导电氧化物起偏和检偏的方法，其特征在于：通过调整所述飞秒激光加工系统的激光入射角、能量和平移台的移动速度改变加工的光栅结构的周期。

5.根据权利要求1-4任一所述的一种基于飞秒激光实现透明导电氧化物起偏和检偏的方法，其特征在于：所述光栅结构的周期范围为300nm-800nm。

6.一种基于飞秒激光实现透明导电氧化物起偏和检偏的方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1，将透明导电材料镀在需要此功能的光电器件上，透明导电氧化物的厚度根据实际需求确定；

步骤2，根据所需要加工的光栅结构周期计算加工过程中激光的入射角度，改变入射角度可以改变光栅结构的周期，计算公式为周期其中λ是入射激光的波长，λs是表面等离子体波长，θ是入射激光的角度，同时改变激光的能量和扫描速度也可以改变光栅结构的周期；

步骤3，将步骤1得到的镀有透明导电材料的光电器件置于飞秒激光加工系统中进行加工获得所需的光栅结构，控制平移台的移动方向与入射激光的线偏振方向相互垂直；

步骤4，将具有光栅结构透明导电氧化物的光电器件放置在光路中即可得到起偏和检偏效果。