[发明专利]一种气相沉积炉用均匀进气的装置

权利要求书

1.一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于：包括均位于沉积炉内的进气管路和集气罩；进气管路一端与沉积炉的进气口固定连通，另一端与集气罩固定连通，集气罩的表面开设有多个出气孔。

2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于：集气罩包括上部倒漏斗罩、圆形连接罩以及下部锥形罩；上部倒漏斗罩的小口端与进气管路固定连通；圆形连接罩分别将上部倒漏斗罩的大口端与下部锥形罩的大口端固定连通；多个出气孔设置在下部锥形罩的锥面上以及圆形连接罩的侧壁上。

3.根据权利要求2所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于：进气管路的出气口设置有梯形倒角。

4.根据权利要求3所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于：出气孔为锥形出气孔，锥形出气孔沿着气流的方向逐渐增大。

5.根据权利要求4所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于：锥形出气孔的孔径为Φ5～15mm，锥形出气孔的母线夹角为45°至60°。

6.根据权利要求5所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于：进气管路与上部倒漏斗罩之间通过螺栓和螺母进行固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于：上部倒漏斗罩锥面与圆形连接罩之间的夹角以及下部锥形罩与圆形连接罩之间的夹角均为上110～130°。

8.根据权利要求7所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于：进气管路与沉积炉的进气口通过连接法兰连接。

9.根据权利要求8所述的一种气相沉积炉用均匀进气的装置，其特征在于：所述连接法兰、进气管路、集气罩、螺杆以及螺母均为耐高温金属件或耐高温复合材料或者石墨件制成。