[发明专利]掩膜组件及其制造方法有效
申请号: | 201711102683.1 | 申请日: | 2017-11-10 |
公开(公告)号: | CN107699854B | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 郭登俊;王永茂;张文畅 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 滕一斌 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组件 及其 制造 方法 | ||
本发明公开了一种掩膜组件及其制造方法,属于显示技术领域。掩膜组件包括:框架,以及层叠设置在框架上的第一掩膜板和第二掩膜板;第二掩膜板上具有至少一个蒸镀区域,每个蒸镀区域具有形状相同的多个蒸镀孔;第一掩膜板包括交叉排布的多个条状掩膜板,交叉排布的多个条状掩膜板围成至少一个开口区域,至少一个开口区域与至少一个蒸镀区域一一对应,至少一个开口区域包括至少一个异形开口区域,每个异形开口区域在第二掩膜板上的正投影位于对应的蒸镀区域内。本发明解决了相关技术中采用掩膜组件制造出的显示面板的显示可靠性较低的问题。本发明用于掩膜组件的制造。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种掩膜组件及其制造方法。
背景技术
有机发光二极管(英文:Organic Light-Emitting Diode;简称:OLED)显示器是一种具有自主发光功能的显示器。OLED显示器以其厚度薄、重量轻、主动发光、响应速度快、视角广、色彩丰富、高亮度、低功耗以及耐高低温等优点广泛应用于显示行业。在OLED显示器的制造过程中,可以采用蒸镀机配合掩膜组件通过蒸镀的方式将OLED材料蒸镀在衬底基板上,以在衬底基板上形成有机发光图形得到阵列基板。
目前的掩膜组件通常包括:金属框架、金属屏蔽片掩膜板和精细金属掩膜板(英文:Fine Metal Mask;简称:FMM),其中,金属屏蔽片掩膜板包括相互垂直的第一条状金属屏蔽片阵列和第二条状金属屏蔽片阵列,第一条状金属屏蔽片阵列和第二条状金属屏蔽片阵列中的每个条状金属屏蔽片的两端分别焊接在金属框架上。第一条状金属屏蔽片阵列和第二条状金属屏蔽片阵列形成有多个开口区域,FMM包括用于一一对应形成多个阵列基板的多个蒸镀区域,每个蒸镀区域上设置有用于形成多个像素的多个蒸镀孔,蒸镀区域在金属屏蔽片掩膜板上的正投影位于开口区域内。
相关技术中,在制造异形显示面板(例如圆角显示面板)时,通常在FMM上设计异形蒸镀区域,例如在蒸镀区域的边缘设计圆角,该异形蒸镀区域是通过将蒸镀区域的边缘上的蒸镀孔设计成异形蒸镀孔得到的,以使得在衬底基板上蒸镀OLED材料时,能够通过异形蒸镀区域形成异形显示面板。
但是,在FMM上设计异形蒸镀区域后,由于异形蒸镀区域的边缘的形状不规则,在将FMM焊接到金属屏蔽片掩膜板上时,易出现FMM的表面不平的现象,采用该掩膜组件进行蒸镀时,可能导致显示面板出现混色不良的现象,制造出的显示面板的显示可靠性较低。
发明内容
本发明实施例提供了一种掩膜组件及其制造方法,可以解决相关技术中采用掩膜组件在蒸镀时,可能导致显示面板出现混色不良的现象,制造出的显示面板的显示可靠性较低的问题。所述技术方案如下:
一方面,提供了一种掩膜组件,所述掩膜组件包括:
框架,以及层叠设置在所述框架上的第一掩膜板和第二掩膜板;
所述第二掩膜板上具有至少一个蒸镀区域,每个所述蒸镀区域具有形状相同的多个蒸镀孔;
所述第一掩膜板包括交叉排布的多个条状掩膜板,所述交叉排布的多个条状掩膜板围成至少一个开口区域,所述至少一个开口区域与所述至少一个蒸镀区域一一对应,所述至少一个开口区域包括至少一个异形开口区域,每个所述异形开口区域在所述第二掩膜板上的正投影位于对应的蒸镀区域内。
可选的,所述第二掩膜板包括至少一个蒸镀区域和围绕在每个所述蒸镀区域周围的缓冲区域,
所述第一掩膜板包括至少一个异形条状掩膜板,所述至少一个异形条状掩膜板用于围成所述至少一个异形开口区域;
所述异形条状掩膜板包括条形结构,以及从所述条形结构的边缘向外延伸的凸起结构,所述条形结构在所述第二掩膜板上的正投影位于所述缓冲区域内,所述凸起结构在所述第二掩膜板上的正投影与所述蒸镀区域至少部分重合。
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