[发明专利]Micro LED转运装置、转运方法及其制作方法

说明书

本发明提供了一种Micro LED转运装置，包括转运基板、驱动电极、转运单元阵列，所述转运单元阵列包含多个转运单元；所述驱动电极为导电传输线，所述驱动电极的一端与驱动芯片直接相连，另一端与所述转运单元电连接，所述驱动芯片输出的驱动电压，经过所述驱动电极的传输，直接施加在所述转运单元上，以使所述转运单元产生电磁力、或热能、或静电，以吸附Micro LED。本发明在不影响Micro LED转运效果的基础上，降低了Micro LED转运装置的制作成本。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，更具体地说，涉及一种Micro LED转运装置、转运方法及其制作方法。

背景技术

发光二极管(Light Emitting Diode，LED)是一种可将电流转换成特定波长范围的光电半导体元件，其发光原理为电子在n型半导体与p型半导体间移动的能量差，以光的形式释放能量，因此发光二极管被称为冷光源，其具有低功耗、尺寸小亮度高、易与集成电路匹配、可靠性高等优点，作为光源被广泛应用。并且，随着LED技术的成熟，直接利用LED作为自发光显示点像素的LED显示器或Micro LED(即微型LED)显示器的技术也逐渐被广泛应用。

其中Micro LED显示屏综合了TFT-LCD和LED显示屏的技术特点，其显示原理是将LED结构设计进行薄膜化、微小化、阵列化，之后将Micro LED从最初的生长衬底上转运到电路基板上，目前Micro LED技术发展的难点之一就在于Micro LED的转运过程。

现有技术中的Micro LED转运装置包括转运基板和多个转运单元、以及与多个转运单元一一对应的多个微开关，该微开关用于控制转运单元是否处于工作状态，一个微开关即为一个CMOS开关电路。但是在转运装置上制作多个CMOS开关电路，增加了转运装置的制作成本和工艺复杂度。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种Micro LED转运装置、转运方法及其制作方法，在不影响Micro LED转运效果的基础上，降低了Micro LED转运装置的制作成本。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种Micro LED转运装置，包括：转运基板、位于所述转运基板上的驱动电极、以及位于所述驱动电极背离所述转运基板一侧的转运单元阵列，所述转运单元阵列包含多个转运单元；

其中，所述驱动电极为导电传输线，所述驱动电极的一端与驱动芯片直接相连，另一端与所述转运单元电连接，所述驱动芯片输出的驱动电压，经过所述驱动电极的传输，直接施加在所述转运单元上，以使所述转运单元产生电磁力、或热能、或静电，以吸附MicroLED。

可选的，所述驱动电极包括：

位于所述转运基板表面上，且沿第一方向排布的多个第一电极，所述多个第一电极均与所述驱动芯片电连接；

位于所述第一电极表面上的第一绝缘层，所述第一绝缘层上具有多个第一通孔；

位于所述第一绝缘层表面上，且沿第二方向排布的多个第二电极，所述第一方向与所述第二方向相交，所述多个第二电极均与所述驱动芯片电连接；

位于所述第二电极与所述转运单元之间的第二绝缘层，所述第二绝缘层上具有多个第二通孔和多个第三通孔，其中，所述第一通孔与所述第三通孔连通；

所述转运单元包括第一电极引线和第二电极引线；

其中，所述第一电极通过贯穿所述第一通孔和第三通孔的导电材料，与所述转运单元的第一电极引线电连接，所述第二电极通过贯穿所述第二通孔的导电材料，与所述转运单元的第二电极引线电连接。

可选的，所述驱动电极包括：