[发明专利]一种指纹识别芯片及其制造方法和电子装置有效
申请号: | 201711015670.0 | 申请日: | 2017-10-26 |
公开(公告)号: | CN109711229B | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 陈文磊;王奇峰 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | G06K9/00 | 分类号: | G06K9/00 |
代理公司: | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人: | 翟海青;高伟 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 指纹识别 芯片 及其 制造 方法 电子 装置 | ||
1.一种指纹识别芯片,其特征在于,包括:
衬底,所述衬底包括相对设置的第一表面和第二表面;
多个像素,设置在所述衬底的第一表面上,其中,每个所述像素包括设置在所述衬底内的光电转换元件;
保护层,覆盖所述衬底的第一表面;
孔,设置在每个所述像素上方的保护层中,并且所述孔与所述像素内的部分所述光电转换元件相对;
封装层,设置于所述保护层的表面上,所述孔贯穿所述封装层以及至少部分所述保护层;
盖板,所述盖板覆盖所述孔的顶部开口以及所述封装层的表面;
发光器件,所述发光器件设置在所述封装层中,并且,所述发光器件的顶面和所述封装层的顶面齐平。
2.如权利要求1所述的指纹识别芯片,其特征在于,所述光电转换元件包括设置在衬底内的光电二极管。
3.如权利要求1所述的指纹识别芯片,其特征在于,所述孔的底部位于所述保护层内,或者,所述孔贯穿所述保护层,露出与所述孔相对的所述光电转换元件的部分表面。
4.如权利要求1所述的指纹识别芯片,其特征在于,还包括:控制电路,设置在所述光电转换元件外侧的所述衬底的第一表面上。
5.如权利要求4所述的指纹识别芯片,其特征在于,还包括:
基板,所述基板与所述衬底的第二表面相对设置;
硅通孔,所述硅通孔贯穿所述衬底,并且所述硅通孔一端连接所述控制电路,另一端连接所述基板上的凸块。
6.一种指纹识别芯片的制造方法,其特征在于,包括:
提供衬底,所述衬底包括相对设置的第一表面和第二表面,在所述衬底的第一表面上设置有多个像素,每个所述像素包括设置在所述衬底内的光电转换元件,在所述衬底的第一表面覆盖有保护层;
在每个所述像素上方的所述保护层中形成孔,并且所述孔与所述像素内的部分所述光电转换元件相对;
形成封装层,以填充所述孔并覆盖所述保护层的表面;
去除所述孔中以及所述孔上方的所述封装层,以使所述孔贯穿所述封装层以及至少部分所述保护层;
提供若干个发光器件,将所述发光器件集成到所述封装层中,其中,所述发光器件的顶面和所述封装层的顶面齐平;
提供盖板,以覆盖所述孔的顶部开口以及所述封装层。
7.如权利要求6所述的制造方法,其特征在于,所述光电转换元件包括设置在衬底内的光电二极管。
8.如权利要求6所述的制造方法,其特征在于,所述孔的底部位于所述保护层内,或者,所述孔贯穿所述保护层,露出与所述孔相对的所述光电转换元件的部分表面。
9.如权利要求6所述的制造方法,其特征在于,在形成所述孔之前,在所述光电转换元件外侧的所述衬底的第一表面上形成有控制电路。
10.如权利要求9所述的制造方法,其特征在于,在形成所述孔之前,与所述衬底的第二表面相对设置有基板,以及所述基板和所述衬底之间通过硅通孔相连接,所述硅通孔贯穿所述衬底,并且所述硅通孔一端连接所述控制电路,另一端连接所述基板上的凸块。
11.一种电子装置,其特征在于,所述电子装置包括如权利要求1至5之一所述的指纹识别芯片。
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