[发明专利]一种指纹识别芯片及其制造方法和电子装置有效

专利信息
申请号: 201711015670.0 申请日: 2017-10-26
公开(公告)号: CN109711229B 公开(公告)日: 2021-12-21
发明(设计)人: 陈文磊;王奇峰 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: G06K9/00 分类号: G06K9/00
代理公司: 北京市磐华律师事务所 11336 代理人: 翟海青;高伟
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 指纹识别 芯片 及其 制造 方法 电子 装置
【权利要求书】:

1.一种指纹识别芯片,其特征在于,包括:

衬底,所述衬底包括相对设置的第一表面和第二表面;

多个像素,设置在所述衬底的第一表面上,其中,每个所述像素包括设置在所述衬底内的光电转换元件;

保护层,覆盖所述衬底的第一表面;

孔,设置在每个所述像素上方的保护层中,并且所述孔与所述像素内的部分所述光电转换元件相对;

封装层,设置于所述保护层的表面上,所述孔贯穿所述封装层以及至少部分所述保护层;

盖板,所述盖板覆盖所述孔的顶部开口以及所述封装层的表面;

发光器件,所述发光器件设置在所述封装层中,并且,所述发光器件的顶面和所述封装层的顶面齐平。

2.如权利要求1所述的指纹识别芯片,其特征在于,所述光电转换元件包括设置在衬底内的光电二极管。

3.如权利要求1所述的指纹识别芯片,其特征在于,所述孔的底部位于所述保护层内,或者,所述孔贯穿所述保护层,露出与所述孔相对的所述光电转换元件的部分表面。

4.如权利要求1所述的指纹识别芯片,其特征在于,还包括:控制电路,设置在所述光电转换元件外侧的所述衬底的第一表面上。

5.如权利要求4所述的指纹识别芯片,其特征在于,还包括:

基板,所述基板与所述衬底的第二表面相对设置;

硅通孔,所述硅通孔贯穿所述衬底,并且所述硅通孔一端连接所述控制电路,另一端连接所述基板上的凸块。

6.一种指纹识别芯片的制造方法,其特征在于,包括:

提供衬底,所述衬底包括相对设置的第一表面和第二表面,在所述衬底的第一表面上设置有多个像素,每个所述像素包括设置在所述衬底内的光电转换元件,在所述衬底的第一表面覆盖有保护层;

在每个所述像素上方的所述保护层中形成孔,并且所述孔与所述像素内的部分所述光电转换元件相对;

形成封装层,以填充所述孔并覆盖所述保护层的表面;

去除所述孔中以及所述孔上方的所述封装层,以使所述孔贯穿所述封装层以及至少部分所述保护层;

提供若干个发光器件,将所述发光器件集成到所述封装层中,其中,所述发光器件的顶面和所述封装层的顶面齐平;

提供盖板,以覆盖所述孔的顶部开口以及所述封装层。

7.如权利要求6所述的制造方法,其特征在于,所述光电转换元件包括设置在衬底内的光电二极管。

8.如权利要求6所述的制造方法,其特征在于,所述孔的底部位于所述保护层内,或者,所述孔贯穿所述保护层,露出与所述孔相对的所述光电转换元件的部分表面。

9.如权利要求6所述的制造方法,其特征在于,在形成所述孔之前,在所述光电转换元件外侧的所述衬底的第一表面上形成有控制电路。

10.如权利要求9所述的制造方法,其特征在于,在形成所述孔之前,与所述衬底的第二表面相对设置有基板,以及所述基板和所述衬底之间通过硅通孔相连接,所述硅通孔贯穿所述衬底,并且所述硅通孔一端连接所述控制电路,另一端连接所述基板上的凸块。

11.一种电子装置,其特征在于,所述电子装置包括如权利要求1至5之一所述的指纹识别芯片。

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