[发明专利]芯片封装方法及芯片封装结构有效
申请号: | 201710986872.3 | 申请日: | 2017-10-20 |
公开(公告)号: | CN109698137B | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 陈彧 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31;H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 封装 方法 结构 | ||
1.一种芯片封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供一元件晶圆,在所述元件晶圆的表面上形成热膨胀系数过渡层,所述热膨胀系数过渡层为印刷电路板用阻焊剂;
图案化所述热膨胀系数过渡层,以暴露出所述元件晶圆的用于堆叠晶片的预留位置表面;
在所述预留位置表面上堆叠晶片;
在所述热膨胀系数过渡层以及晶片的表面上形成包封层,所述热膨胀系数过渡层的热膨胀系数低于所述包封层。
2.如权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,至少有一个所述预留位置的表面上以多层层叠的形式堆叠有多个所述晶片。
3.如权利要求2所述的芯片封装方法,其特征在于,所述多个晶片的尺寸不完全相同。
4.如权利要求2所述的芯片封装方法,其特征在于,所述热膨胀系数过渡层的上表面与所述元件晶圆表面上堆叠的最高的晶片的上表面齐平。
5.如权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,所述热膨胀系数过渡层的热膨胀系数小于45ppm/K,所述包封层的热膨胀系数为45ppm/K~70ppm/K。
6.如权利要求1所述芯片封装方法,其特征在于,所述热膨胀系数过渡层包括阻焊干膜、热固化阻焊剂、液态感光阻焊油墨和光固化阻焊剂中的至少一种。
7.如权利要求6所述的芯片封装方法,其特征在于,通过光刻工艺或者刻蚀工艺图案化所述热膨胀系数过渡层,以暴露出所述预留位置表面。
8.如权利要求1至7中任一项所述的芯片封装方法,其特征在于,所述元件晶圆包括多条从横交错的切割线以及所述切割线划分出来的晶片区,所有晶片区分为坏晶片区以及用于堆叠晶片的好晶片区,每个好晶片区由至少一个用于堆叠晶片的预留位置以及不用于堆叠晶片的空白区域组成,去除所述预留位置表面上的热膨胀系数过渡层的同时还去除所有切割线上的热膨胀系数过渡层后,剩余的热膨胀系数过渡层覆盖所有坏晶片区以及所有好晶片区中空白区域。
9.如权利要求1所述芯片封装方法,其特征在于,所述包封层通过用热塑性塑料进行挤压形成,或者通过用注塑封料进行涂覆或浇铸后进一步固化形成。
10.一种芯片封装结构,其特征在于,包括:元件晶圆、热膨胀系数过渡层、至少一个晶片以及包封层;其中,所述热膨胀系数过渡层位于所述元件晶圆上且暴露出所述元件晶圆的用于堆叠晶片的预留位置表面,所述晶片堆叠在所述元件晶圆用于堆叠晶片的预留位置的表面上,所述包封层覆盖在所述热膨胀系数过渡层和所有晶片的表面上,且所述热膨胀系数过渡层的热膨胀系数低于所述包封层,所述热膨胀系数过渡层为印刷电路板用阻焊剂。
11.如权利要求10所述的芯片封装结构,其特征在于,至少有一个所述预留位置的表面上以多层层叠的形式堆叠有多个所述晶片。
12.如权利要求11所述的芯片封装结构,其特征在于,所述多个晶片的尺寸不完全相同。
13.如权利要求11所述的芯片封装结构,其特征在于,所述热膨胀系数过渡层的上表面与所述元件晶圆表面上堆叠的最高的晶片的上表面齐平。
14.如权利要求11所述的芯片封装结构,其特征在于,所述热膨胀系数过渡层的热膨胀系数小于45ppm/K,所述包封层的热膨胀系数为45ppm/K~70ppm/K。
15.如权利要求11所述的芯片封装结构,其特征在于,所述热膨胀系数过渡层包括阻焊干膜、热固化阻焊剂、液态感光阻焊油墨和光固化阻焊剂中的至少一种。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造