[发明专利]一种空间反射镜真空镀膜夹具

说明书

技术领域：

本发明属于空间遥感应用技术领域，具体涉及一种空间反射镜真空镀膜夹具。

背景技术

随着空间光学遥感技术的发展和应用越来越广，空间光学遥感器功能越来越多，光学分辨率也越高，视场要求也更广，成像的光学反射镜的尺寸也随之越来越大。空间反射镜作为遥感光学系统的重要组成部分，其面型精度将直接影响系统成像质量。空间反射镜加工难易程度受其材质和结构、几何尺寸、精度等因素的影响，且大尺寸反射镜的轻量化程度较高，在光学加工或镀膜时容易受到安装平台的影响产生形变从而影响面型精度。在一些特定条件下，空间反射镜有镜面和背部镀膜的需求，且两面镀膜材质不同，因此要求安装平台或夹具能满足此类镀膜的装夹。

空间反射镜真空镀膜夹具或安装反射镜的平台，一般只能满足镜面镀膜的装夹，因此若对反射镜背部镀膜，由于反射镜镀膜的安装平台或夹具的局限性，不能满足背部镀膜要求。通用的安装反射镜的夹具一般只适用于口径小易安装的反射镜，大口径的反射镜安装难度大，不仅需要大直径的真空镀膜罐，而且受到结构稳定性、质量、安装便捷性等因素的制约。

发明内容

本发明为解决空间反射镜在真空罐内进行真空镀膜的装配问题。空间反射镜夹具的安装接口精度会影响反射镜的面型精度，因此对夹具接口精度要求较高；反射镜装配到夹具后，真空镀膜罐内电机电动夹具转动，电机悬挂装置对所悬挂的载荷重量是固定的，因此夹具和反射镜的总重量需要严格限制；安装夹具或安装反射镜时装配难度受到真空罐内空间局限性影响；蒸发或溅射方式进行镀制反射膜时，蒸发源或溅射源不动，由夹具带动反射镜匀速低速转动，反射镜镜面和背面都有镀膜要求的情况下，就需要对反射镜支撑装置或者反射镜翻转以便于对镜面和背部进行镀膜。

本发明解决上述问题的技术方案是：

一种空间反射镜真空镀膜夹具，其承载主体1包括中空圆柱主体和真空罐连接接口101部分。承载主体1为T字形圆柱体，由上下两端圆柱体组成，内部中空从而形成上下两个薄壁圆柱，最小壁厚处为单边10mm，上圆柱长度20mm，为真空罐连接接口101部分，连接接口的安装面内凹，其与真空罐接口尺寸匹配，下圆柱部分圆周上均匀开四个长边竖直，长宽比例为10:3的方形孔，用于焊接承载方形梁2。

一种空间反射镜真空镀膜夹具，其承载方形梁2包括垂直吊杆安装接口201部分和方形梁部分。承载方形梁2用四根均匀布置的长方形钢梁，按10:3的长宽比设计，采用窄边水平长边竖直安装的方式作为承力件，四根梁的窄边平面共面。与真空罐连接接口101安装平面平行。承载主体方形钢梁2的末端为垂直吊杆安装接口201，用于安装垂直吊杆。

一种空间反射镜真空镀膜夹具，其垂直吊杆3包括垂直吊杆安装接口201配合的接口、反射镜支撑装置安装接口301。垂直吊杆3的杆件采用实体圆柱杆，有不同长度组件，且用于同一组的四根杆件等长，可根据实际长度需求更换不同组件实现调整；与承载方形梁2配合的接口采用方孔形式，孔两侧竖直面由螺钉调节的压板，通过螺钉压紧压板将垂直吊杆3固定在承载方形梁2的安装位置上；反射镜支撑装置安装接口301采用在实体圆杆的末端打螺钉孔，由螺钉连接固定反射镜支撑装置4。

一种空间反射镜真空镀膜夹具，其反射镜支撑装置4，在同一平面内采用圆形实体不锈钢杆焊接的上下两层组成框架结构。反射镜支撑装置4下层有内外两层正方形的回字框架结构，两正方形的四个直角对应相连，使用四根等长且与前述正方形直径相同的实体不锈钢杆连接内外正方形；内层正方形的尺寸与反射镜的安装接口的尺寸一致，外层正方形尺寸由反射镜的轮廓尺寸决定。反射镜支撑装置4上层为正方形结构，与下层的内圈的小正方形平行，且尺寸相等、放置的方向位置相同。框架上下两层两正方形平面之间的距离为110mm，上下层两个小正方形在四个直角处使用相同直径不锈钢杆连接。下层外侧正方形的四个直角处焊接反射镜支撑装置安装接口301，上层的正方形四个直角处安装等高的竖直支撑作为反射镜安装接口401。反射镜支撑装置(4)上下层框架全部采用的直径为30mm实体不锈钢杆。上层正方形和下层外侧正方形一一对应的四个直角点用直径10mm的实体不锈钢杆连接。

本发明的有益效果：本发明是空间反射镜真空镀膜不可缺少的关键设备，为反射镜在真空中实现背部和镜面镀膜提供了一种新的安装方式，解决了在真空镀膜过程中反射镜装配的技术难题。本发明结构可拆卸分解易于安装，使反射镜在真空罐内由于空间局限性导致装配困难的问题得到解决，提高了装配效率，降低了反射镜在镀膜装配过程中的装配风险。

附图说明