[发明专利]一种空间反射镜真空镀膜夹具在审
申请号: | 201710950042.5 | 申请日: | 2017-10-13 |
公开(公告)号: | CN107699861A | 公开(公告)日: | 2018-02-16 |
发明(设计)人: | 袁海涛;邓容;孙胜利;王成彬;李耀鹏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 上海沪慧律师事务所31311 | 代理人: | 李秀兰 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 空间 反射 真空镀膜 夹具 | ||
1.一种空间反射镜真空镀膜夹具,包括承载主体(1)、承载方形梁(2)、垂直吊杆(3)、反射镜支撑装置组件(4),其特征在于:
所述承载主体(1)通过真空罐连接接口(101)与真空罐内电机装置连接完成在真空罐内固定;将承载方形梁(2)焊接到承载主体(1)上,四根承载方形梁(2)呈圆周均布状;将垂直吊杆(3)通过配合孔径安装至承载方形梁(2)上;反射镜支撑装置(4)装配到垂直吊杆(3)上,完成该设备的装配。将反射镜由反射镜安装接口装配到该夹具上,完成反射镜在真空罐内的装配,由罐内电机带动整个夹具设备转动对反射镜进行真空镀膜。
2.根据权利要求1所述的一种空间反射镜真空镀膜夹具,其特征在于:所述承载主体(1)包括中空圆柱主体和真空罐连接接口(101)部分,承载主体(1)为T形上下两端圆柱体组成,内部中空从而形成上下两个圆环的形状,最小壁厚处为单边10mm,上圆柱长度20mm,为真空罐连接接口(101)部分,连接接口的安装面内凹,其与真空罐接口尺寸匹配,下圆柱部分圆周上均匀开四个长边竖直,长宽比例为10:3的方形孔作为焊接接口。
3.根据权利要求1所述的一种空间反射镜真空镀膜夹具,其特征在于:所述承载方形梁(2)包括垂直吊杆安装接口(201)部分和方形梁部分,承载方形梁(2)用四根均匀布置的长方形钢梁,按10:3的长宽比设计,采用窄边水平长边竖直安装的方式作为承力件,四根梁的窄边平面共面。与真空罐连接接口安装平面平行。承载主体方形钢梁(2)的末端为垂直吊杆安装接口(201),用于安装垂直吊杆。
4.根据权利要求1所述的一种空间反射镜真空镀膜夹具,其特征在于:所述垂直吊杆(3)包括与垂直吊杆安装接口(201)配合的接口、反射镜支撑装置安装接口(301),垂直吊杆(3)的杆件采用实体圆柱杆,有不同长度组件,且用于同一组的四根杆件等长,可根据实际长度需求更换不同组件实现调整;与承载方形梁(2)配合的接口采用方孔形式,根据反射镜尺寸调整在承载方形梁上的位置,可通过螺钉压紧方孔两侧竖直面处可调节的压板,将垂直吊杆(3)固定在承载方形梁(2)的安装位置上;反射镜支撑装置安装接口(301)采用在实体圆杆的末端打螺钉孔。
5.根据权利要求1所述的一种空间反射镜真空镀膜夹具,其特征在于:所述反射镜支撑装置(4),在同一平面内采用圆形实体不锈钢杆焊接的上下两层组成框架结构,反射镜支撑装置(4)下层有内外两层正方形的回字框架结构,两正方形的四个直角对应相连,使用四根等长且与前述正方形直径相同的实体不锈钢杆连接内外正方形;内层正方形的尺寸与反射镜的安装接口的尺寸一致,外层尺寸由反射镜的轮廓尺寸决定,反射镜支撑装置(4)上层为正方形结构,与下层的内圈的小正方形平行,且尺寸相等、放置的方向位置相同;框架上下两层两正方形平面之间的距离为110mm,上下层两个小正方形在四个直角处使用相同直径不锈钢杆连接。下层外侧正方形的四个直角处焊接反射镜支撑装置安装接口(301),上层的正方形四个直角处安装等高的竖直支撑作为反射镜安装接口(401);反射镜支撑装置(4)上下层框架全部采用的直径为30mm实体不锈钢杆。上层正方形和下层外侧正方形一一对应的四个直角点用直径10mm的实体不锈钢杆连接。
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