[发明专利]一种可实现电子束碰撞电离和表面电离的离子源结构有效
| 申请号： | 201710946904.7 | 申请日： | 2017-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN107749388B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 唐兵;崔保群;马瑞刚;马鹰俊;陈立华;黄青华;马燮 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | H01J27/20 | 分类号： | H01J27/20;H01J27/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102413 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 同时 实现 电子束 碰撞 电离 表面 离子源 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种可实现电子束碰撞电离和表面电离的离子源结构，其特征在于：所述离子源结构包括有靶、阴极、阳极、放电室、励磁线圈以及引出电极，其中所述靶、阴极、阳极和引出电极依次水平放置，所述放电室设置在所述阴极和阳极之间，所述励磁线圈布置在所述放电室外围，所述靶、阴极和阳极处于高温工作环境中；其中当对所述阴极进行电阻加热和对所述阳极施加正电压，所述阴极发射的电子进入所述放电室形成电子束，实现电子碰撞电离；当将所述阴极相对于所述阳极处于正电位时，在所述阴极和阳极表面均可以实现产生表面电离。
2.根据权利要求1所述的一种可实现电子束碰撞电离和表面电离的离子源结构，其特征在于：所述引出电极由中间电极和地电极构成。
3.根据权利要求1或2所述的一种可实现电子束碰撞电离和表面电离的离子源结构，其特征在于：所述阴极为采用Ta或W耐高温材料制作而成。
4.根据权利要求1或2所述的一种可实现电子束碰撞电离和表面电离的离子源结构，其特征在于：所述阳极为采用Ta或Re或Ir耐高温材料制作而成。
5.根据权利要求1所述的一种可实现电子束碰撞电离和表面电离的离子源结构，其特征在于：所述励磁线圈其所生产磁场强度可调。
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