[发明专利]运用电机编码器信号信息的激光系统

说明书

本发明在通过激光系统进行修补(repair)加工时，执行将平台或激光头以一定速度移动并修补(repair)加工作业，所述平台或激光头具有通过电机驱动而达到一定速度的加速运行区间、保持所述一定速度的定速运行区间、由所述一定速度停止电机驱动的减速运行区间，并在所述定速运行区间内进行激光修补(repair)加工，以用于进行缺口区间的均匀的激光修补(repair)加工。

技术领域

本发明涉及激光系统，更具体地涉及一种在对光掩模(Photo mask)、液晶显示屏(LCD)及有机发光二极管(OLED)的薄膜晶体管(TFT)配线或PC等玻璃(glass)的结合利用激光而修补时，精密稳定地控制激光的激光系统。

背景技术

显示屏(displaypanel)市场由过去的LCD等形式转换为OLED，由此，与此对应，激光修补(laser repair)市场也向要求更精密的工艺形式发展。

利用激光修补基板(Photo mask、LCD及OLED的TFT配线或PC等玻璃)的结合时，一般而言，激光是一种由激光二极管(LD)或闪光灯(flash lamp)激发Nd:YAG等石棒(rod)而进行振荡的形式的纳米飞秒(nano～femto)级的脉冲激光(pulselaser)。

该脉冲激光的大部分在支持外部信号(externaltrigger)控制功能，使用脉冲发生器(pulsegenerator)或使用通过RS232communication而控制的方式，因而，激光以规则的频率振荡。

对于该控制方式，在激光或平台(stage)静止的状态下，提供正常的工艺环境，但激光切割(lasercutting)等修补(repair)加工因必须移动激光头或平台，由此，存在获得不均匀的修补(repair)加工部分。

即，如图1显示所示，将激光头或平台按X-Y轴移动并执行激光修补(repair)加工，由此，通过电机驱动而具有所谓的加速运行、定速运行、减速运行区间的相互不同的三种速度区间，由此，通过有规律地进行振荡的激光而导致不均匀的修补(repair)加工。

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明是为了解决上述问题而研发，其目的为提供一种运用电机的编码器信号信息而控制激光振荡，由此进行均匀的修补(repair)加工的激光系统。

但本发明的目的并非限制于上述言及的目的，未言及的或其它目的通过下面记载而使本领域技术人员明确理解。

用于解决问题的技术方案

为了实现所述目的，本发明涉及一种具有供安装存在缺口的基板的平台与向所述基板射出激光的激光头，由此，修补(repair)所述基板的缺口的激光系统，该激光系统，具有电机，分别将所述平台或激光头以X轴或Y轴方向移动，以使所述平台或激光头沿着所述基板的缺口区间，而以规定速度移动，并执行修补(repair)加工。

并且，所述平台或激光头通过所述各个电机驱动移动时，具有：达到所述一定速度的加速运行区间；保持所述一定速度的定速运行区间；由所述一定速度停止电机驱动的减速运行区间。

而且，所述修补(repair)加工仅在所述定速运行区间内进行。

另外，在所述各个电机安装检测电机旋转轴的旋转角度及转数的编码器。

并且，所述激光系统具有按通过所述编码器的检测信号信息而输入的脉冲(pulse)检测周期逐渐增加的情况下的所述加速运行区间、所述输入的脉冲检测周期相同情况下的所述定速运行区间及所述输入的脉冲检测周期逐渐减小的情况下的减速运行区间区分的控制部。

而且，所述激光系统具有控制使得在所述激光头形成激光振荡的激光控制器(controller)。